超光滑基底表面污染微粒的激光清洗技术

随着超光滑表面质量的不断提高 ,表面清洗已成为超光滑基片制造过程中的一项重要工序 ,并且成为影响产品合格率的关键因素。着重介绍激光清洗的特点及超光滑表面激光辅助清洗表面微细污染微粒的机理 ,并通过实验性验证 。

水泥砂浆衬里补口作业机器人作业装置的研制

介绍水泥砂浆衬里补口作业机器人作业装置的系统组成及工作原理 ,分析水泥砂浆喷涂过程。该作业装置具有结构紧凑、“一电机多功用”及补口功能完善可靠等显著特点 ,实验证明是一种理想的水泥砂浆衬里补口作业装置 。

光学基片表面软质抛光胶体粒子的激光清洗

介绍了光学基片表面软质抛光胶体粒子激光清洗的基本方法、原理和实验装置，并通过对含有污染微粒的基片表面进行激光清洗．获得了高洁净表面的光学基片．