高矫顽力SmCo/Cr薄膜的制备、结构及磁性

通过磁控溅射采用基板水冷方法制备ＳｍＣｏ／Ｃｒ双层膜。薄膜的成分及厚度、薄膜的制备条件，如溅射时的氩气压对薄膜的磁性有较大的影响。通过仔细控制这些参数，制备出矫顽力高达１８１ｋＡ／ｍ的薄膜。