立式冷壁反应器中化学气相淀积TiN涂层 Ⅰ.淀积参数对反应速率和涂层质量的影响

在立式冷壁CVD反应器中,用TiCl_4-H_2N_2和TiCl_4-H_2N_2-Ar为反应物源,在YT15硬质合金刀片上淀积TiN涂层。研究了淀积参数对淀积薄膜质量和淀积速率的影响。得到的TiN_x涂层外观光洁,呈金黄色,x为0.8～1.6,淀积速率15～60m^(-6)/h,显微硬度1800～2200HV,淀积反应为扩散过程控制;表观活化能为46.5kJ/mol。实验表明,TiN在冷壁反应器中的淀积速率远大于在热壁反应器中的淀积速率。

烷氧基钛水解制备TiO_2超细粒子 Ⅱ.水解反应动力学及粒子形成

测定了烷氧基钛水解成核的诱导时间,研究了水解反应形成TiO_2超细粒子的机理,及溶剂和反应底物对水解反应机理的影响规律。导出了丁氧基钛在醇溶剂中的水解反应速率方程与对应的水解和聚结反应历程该机理同实验结果相吻合。

液相沉淀法制备氧化铝超细粒子

探讨了文题的方法,系统地研究了溶液的 pH 值、反应物浓度、阴离子、搅拌功率、反应温度以及不同的干燥方法对合成过程和粒子性能的影响规律,确定了制备氧化铝超细粒子的工艺条件.本法制取的氧化铝超细粒子为球形,比表面积大,单分散性好(GSD=1.5),化学纯度高(99.98%).

烷氧基钛水解制备TiO_2超细粒子 Ⅰ.水解及粒子形成过程

探讨了文题的方法,研究了反应物浓度、搅拌速率、溶剂与底物类型对水解速率与粒子性能的影响规律。粒子平均直径D_V随着反应底物浓度的增加而增加,随着水浓度增加而降低,粒径分散度GSD随着底物和水浓度增加而变窄;搅拌强度增大,D_V增加,分布变宽;溶剂中配位基电负性愈低,D_V愈大,当溶剂与反应底物中的配位基相同时,GSD最佳。底物中配位基的电负性愈高,其水解动力学稳定性愈差,D_V愈小。实验制备的TiO_2超细粒子为无定形态,球状,D_V=100～400nm,CSD=1.1～1.4,且化学纯度高。

溶胶-凝胶法合成人造金红石超细颗粒

探讨了文题的方法,研究了反应物与催化剂浓度对凝胶化速度、颗粒大小及分布的影响。结果表明,烷氧基钛在醋酸催化作用下水解和缩聚可制备均匀透明的块状凝胶,经干燥、焙烧得到金红石型的TiO_2超细颗粒。颗粒平均粒度随水含量增加而下降;随水解底物浓度的增加而下降,然后略有上升;随醋酸浓度增加而降低。醋酸根离子浓度不仅作为催化剂,而且作力能形成Ti(OC_4H_9)_x(Ac)_y络合物的配位体而起作用,改善了颗粒粒度的均匀性。凝胶透明度与颗粒的粒度及其分布有关,而与凝胶化时间无关。本法制备的TiO_2颗粒粒度细(20～200nm)、单分散性好且纯度高。