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中美化学工程类专业硕士培养方案比较分析——以麻省理工学院和华东理工大学为例 被引量:10
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作者 吴艳阳 徐心茹 辛忠 《化工高等教育》 2016年第3期30-36,共7页
本文以麻省理工学院和华东理工大学为例,对中美两国化学工程类专业硕士培养方案进行了逐一比较,具体涉及研究生招生、生源和深造、学制和培养目标、课程修读、授课方式、实践教学、导师制、科学研究和学位论文等方面,并深入分析了两国... 本文以麻省理工学院和华东理工大学为例,对中美两国化学工程类专业硕士培养方案进行了逐一比较,具体涉及研究生招生、生源和深造、学制和培养目标、课程修读、授课方式、实践教学、导师制、科学研究和学位论文等方面,并深入分析了两国化学工程类专业硕士培养的异同,以期为我国大学化学工程类专业硕士教育的发展和完善提供借鉴。 展开更多
关键词 麻省理工学院 华东理工大学 专业硕士 培养方案 化学工程
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强化工程观点 培育卓越能力——以华东理工大学化工原理课程改革为例 被引量:15
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作者 黄婕 齐鸣斋 刘田 《化工高等教育》 2012年第2期1-3,33,共4页
在教育部"卓越工程师教育培养计划"的指导精神和强化工程人才培养的背景下,华东理工大学化工原理课程教学团队在教学中探索模型转变,积极在操作方法中总结方法论,尤其重视培养学生的工程观点和工程能力。本文认为,作为工程人... 在教育部"卓越工程师教育培养计划"的指导精神和强化工程人才培养的背景下,华东理工大学化工原理课程教学团队在教学中探索模型转变,积极在操作方法中总结方法论,尤其重视培养学生的工程观点和工程能力。本文认为,作为工程人才培养的技术基础课,化工原理的作用至关重要,其教学改革与经验总结将持续深入展开。 展开更多
关键词 工程观点 化工原理 教学改革
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高校微信传播效果计量分析研究——以华东理工大学为例
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作者 周霜菊 顾轶洋 路晓璇 《今传媒》 2020年第10期23-26,共4页
本文以华东理工大学微信公众号为例,使用Python语言编写程序对采集到的公众号推文数据进行处理和高频词统计、共现矩阵、特征与指数的回归分析,计算相关指标和标题特征,分析和验证相关因素对于高校新媒体传播效果的影响,从微信公众号推... 本文以华东理工大学微信公众号为例,使用Python语言编写程序对采集到的公众号推文数据进行处理和高频词统计、共现矩阵、特征与指数的回归分析,计算相关指标和标题特征,分析和验证相关因素对于高校新媒体传播效果的影响,从微信公众号推广及推文内容的角度为国内高校的新媒体传播提供参考策略。 展开更多
关键词 微信公众号 影响力指数 计量分析
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高校绿色工程教育实践路径研究——以华东理工大学为例 被引量:3
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作者 黄婕 张帆 +3 位作者 张先梅 周玲 辛忠 王慧锋 《化工高等教育》 2021年第3期17-23,62,共8页
面对新一轮科技革命和工业革命带来的挑战,大学有必要主动谋求高等工程教育变革,积极探索和践行绿色工程教育发展之路。文章阐述了绿色工程教育的缘起及发展的必要性,在此基础上系统梳理了华东理工大学践行绿色工程教育的实践探索,包括... 面对新一轮科技革命和工业革命带来的挑战,大学有必要主动谋求高等工程教育变革,积极探索和践行绿色工程教育发展之路。文章阐述了绿色工程教育的缘起及发展的必要性,在此基础上系统梳理了华东理工大学践行绿色工程教育的实践探索,包括开设绿色工程教育通识课程、开展绿色工程教育教学改革研究、完善绿色工程教育专业课程体系、创新绿色工程教育实践教学模式、提升绿色工程教育协同育人机制等,以期为我国高校全面开展绿色工程教育提供"华理方案"。 展开更多
关键词 绿色工程教育 课程体系 实践 创新 绿色发展
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大学生内卷化的自利归因偏差及积极心理应对
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作者 田梦 《高校辅导员学刊》 2024年第2期60-63,92,98,共6页
随着社会的快速发展和竞争压力的增大,内卷一词在网络上快速流行,大学生常用内卷来形容他们在生活学习中的非理性竞争。在这样“被自愿”的竞争中,大学生往往表现出反感抵触的消极情绪,但又被群体裹挟,难以脱身,由此很多人将内卷化当作... 随着社会的快速发展和竞争压力的增大,内卷一词在网络上快速流行,大学生常用内卷来形容他们在生活学习中的非理性竞争。在这样“被自愿”的竞争中,大学生往往表现出反感抵触的消极情绪,但又被群体裹挟,难以脱身,由此很多人将内卷化当作自己不努力的借口,产生自利归因偏差,将自己的成功或优点归因于内部因素,而将自己的失败或不足归因于外部因素,逐渐在内卷化潮流中迷失自我,形成空虚焦虑心理,不利于自我认知和自我发展。本文聚焦大学生内卷化的现实表现,从社会心理学视角深度剖析大学生内卷化自利归因偏差形成原因,并从积极心理学视角研究大学生积极应对内卷化的策略和高校育人新思路,为促进大学生身心健康发展和提升高校育人质量提供理论依据。 展开更多
关键词 大学生 内卷化 自利归因偏差 积极心理应对
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智能时代大学生劳动教育的认知基础、价值重塑与创新路径调研
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作者 魏兵惠 郭鹏宇 +1 位作者 李佳璇 王可 《中文科技期刊数据库(文摘版)社会科学》 2024年第4期0093-0096,共4页
大学生劳动教育是高等教育的重要组成部分,是向社会输送高质量人才的必要环节。本文深入探讨智能技术对劳动教育的影响,从智能技术引入的新挑战、新机遇等进行了分点论述。同时多维度探讨了互联网时代劳动教育的认知基础与价值意蕴。最... 大学生劳动教育是高等教育的重要组成部分,是向社会输送高质量人才的必要环节。本文深入探讨智能技术对劳动教育的影响,从智能技术引入的新挑战、新机遇等进行了分点论述。同时多维度探讨了互联网时代劳动教育的认知基础与价值意蕴。最后,以现阶段高校大学生劳动教育的创新实践为案例,探讨智能时代大学生劳动教育的创新路径。 展开更多
关键词 智能时代 劳动教育 创新路径
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麻省理工学院(MIT)化学工程系本科生培养方案和课程设置 被引量:5
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作者 吴艳阳 朱家文 武斌 《化工高等教育》 2015年第3期33-39,共7页
本文简要介绍了麻省理工学院(MIT)化学工程系的发展史、现状和使命,对各专业本科生培养方案和课程设置进行了阐述。MIT化学工程系共有四个专业即专业10、10-B、10-C和10-ENG,文章列出专业10的专业培养课程实例。然后对MIT本科生所能获... 本文简要介绍了麻省理工学院(MIT)化学工程系的发展史、现状和使命,对各专业本科生培养方案和课程设置进行了阐述。MIT化学工程系共有四个专业即专业10、10-B、10-C和10-ENG,文章列出专业10的专业培养课程实例。然后对MIT本科生所能获得的实践创新教育和外校学习机会进行了说明,并提出了MIT本科生培养方案的特色。在此基础上,提出了MIT化工系的培养方式对我国大学本科教育的启示及相应的改革对策。 展开更多
关键词 麻省理工学院(MIT) 化学工程系 培养方案 实践创新教育
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中日化工类大学本科毕业论文环节教育方式比较 被引量:10
8
作者 辛忠 《化工高等教育》 2006年第5期44-46,共3页
本文比较了中日化工类本科四年级毕业环节的教育方式,发现在毕业生在选择导师、进入实验室、答辩和论文写作等方面都有所差异,相互之间各有所长,可以互相借鉴。
关键词 本科论文环节 中日比较 化工类 教育方式
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基于毕业论文质量的计算机化工应用课程教学新模式探索
9
作者 钱刚 隋志军 +1 位作者 魏永明 杨榛 《化工高等教育》 2023年第5期55-59,110,共6页
计算机化工应用课程是高校化工及相关专业的一门重要专业课,有很强的实践性,该课程的知识在学生进行毕业论文研究时多有应用。文章在梳理学生毕业论文中存在的问题并剖析其原因的基础上,从教学目标、教学内容、教学方法和考核方式等方... 计算机化工应用课程是高校化工及相关专业的一门重要专业课,有很强的实践性,该课程的知识在学生进行毕业论文研究时多有应用。文章在梳理学生毕业论文中存在的问题并剖析其原因的基础上,从教学目标、教学内容、教学方法和考核方式等方面探索了该课程教学的新模式。该模式应用于实际教学中,促进了学生毕业论文质量的提升。 展开更多
关键词 计算机应用 化工 教学模式 毕业论文
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石油化工过程的静态与时序数据组合建模 被引量:1
10
作者 王杰 陈博 +3 位作者 刘松 欧阳福生 戴宁锴 赵明洋 《华东理工大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2023年第4期489-497,共9页
传统的石油化工过程建模中仅使用静态数据,而未能充分考虑连续生产过程中时序信息对建模指标的影响。本文提出了一种静态与时序数据组合网络(CNSS)模型,使用前馈神经网络提取静态数据的信息,使用Bi-LSTM(Bidirectional-Long Short Term ... 传统的石油化工过程建模中仅使用静态数据,而未能充分考虑连续生产过程中时序信息对建模指标的影响。本文提出了一种静态与时序数据组合网络(CNSS)模型,使用前馈神经网络提取静态数据的信息,使用Bi-LSTM(Bidirectional-Long Short Term Memory)和自注意力机制提取操作变量时序数据中的信息,其中Bi-LSTM提取操作变量在时序逻辑上的信息,自注意力机制提取操作变量之间的交叉信息,通过静态和时序数据信息的组合以获得更好的模型预测性能;并使用CNSS模型分别对S Zorb装置精制汽油辛烷值(RON)、催化裂化烟气脱硝系统氮氧化物(NO_(x))的出口质量浓度进行预测,结果表明:CNSS模型的预测精度明显高于仅使用静态数据的机器学习模型,其对精制汽油RON预测的平均绝对误差和平均绝对百分比误差分别为0.1091、0.12%,对NO_(x)出口质量浓度预测的平均绝对误差和平均绝对百分比误差分别为2.4430 mg/m3、5.60%。对于因工艺参数波动较大而需要考虑时序信息的石油化工过程,CNSS模型可以为其建立机器学习模型提供重要参考。 展开更多
关键词 前馈神经网络 Bi-LSTM 自注意力机制 S Zorb工艺 FCC烟气脱硝
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“卓越计划2.0”背景下化工专业人才培养模式的构建与实施
11
作者 仇上 宗原 +2 位作者 魏永明 彭阳峰 吴艳阳 《化工高等教育》 2023年第1期8-12,共5页
针对“卓越计划2.0”对人才培养的新要求,华东理工大学化工学院围绕学生设计能力、工程能力和国际化能力的培养,通过完善卓越工程师班学生遴选和管理机制、优化卓越工程师班学生培养方案等举措,对化工专业人才培养工作进行了一系列改革... 针对“卓越计划2.0”对人才培养的新要求,华东理工大学化工学院围绕学生设计能力、工程能力和国际化能力的培养,通过完善卓越工程师班学生遴选和管理机制、优化卓越工程师班学生培养方案等举措,对化工专业人才培养工作进行了一系列改革,取得了良好的育人成效。实践表明,全新的人才培养模式有力地促进了国际化工程人才的培养。 展开更多
关键词 化工专业 卓越工程师 人才培养模式 课程体系
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石墨烯基介孔锰铈氧化物催化剂:制备和低温催化还原NO
12
作者 王艳莉 钱心怡 +1 位作者 沈春银 詹亮 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第1期81-89,I0005,共10页
锰铈氧化物由于较强的氧化还原活性、优良的低温脱硝性能,已被广泛用于选择性催化还原(SCR)脱硝反应,但是锰铈氧化物存在活性组分易团聚、比表面积较低等问题,限制其催化剂活性的提高。本研究以介孔结构的石墨烯基SiO_(2)(G@SiO_(2))纳... 锰铈氧化物由于较强的氧化还原活性、优良的低温脱硝性能,已被广泛用于选择性催化还原(SCR)脱硝反应,但是锰铈氧化物存在活性组分易团聚、比表面积较低等问题,限制其催化剂活性的提高。本研究以介孔结构的石墨烯基SiO_(2)(G@SiO_(2))纳米材料为模板,采用水热法制备了系列石墨烯基介孔锰铈氧化物(G@MnO_(x)-CeO_(2))催化剂,并考察了该催化剂在低温下(100~300℃)的SCR脱硝性能。结果表明,与石墨烯基铈氧化物(G@CeO_(2))相比,G@MnO_(x)-CeO_(2)催化剂具有较高脱硝活性。当Mn、Ce与模板G@SiO_(2)质量比分别为0.35、0.90时,G@Mn(0.35)Ce(0.9)催化剂的脱硝活性最佳,220℃下NO转化率达到最高(80%)。添加适量MnO_(x),提高了G@MnO_(x)-CeO_(2)催化剂的比表面积、孔容,降低了催化剂的结晶度;并且MnO_(x)-CeO_(2)以纳米尺度(2~3 nm)较为均匀地分散于石墨烯片层表面。此外,由于MnO_(x)与CeO_(2)之间存在协同作用,Mn原子可以部分替代Ce原子掺杂于CeO_(2)的晶体结构中形成MnO_(x)-CeO_(2)固溶体,使G@Mn(0.35)Ce(0.9)催化剂表面存在较高含量的高价态Mn^(3+)和Mn^(4+)、Ce^(4+)以及较高的化学吸附氧浓度,从而展现出较高的脱硝性能。该工作为MnO_(x)-CeO_(2)基催化剂在低温NH3-SCR中的实际应用提供了基础数据。 展开更多
关键词 石墨烯 铈氧化物 锰氧化物 NO 选择性催化还原
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基于Rocky DEM的松散润叶筒内抄板作用的模拟与优化
13
作者 潘凡达 沈凯 +5 位作者 樊虎 李旭 胡世豪 蒋明洋 金浩 邹剑峰 《化学反应工程与工艺》 CAS 2024年第1期66-76,共11页
为深入研究松散润叶筒内叶片在抄板上的掉落过程,提升叶片的耐加工性,利用三维建模软件建立松散润叶筒三维模型,通过Rocky 2021 R2离散元仿真软件创建薄片柔性叶片进行数值模拟,对叶片在松散润叶筒内抄板上的运动进行可视化计算。根据... 为深入研究松散润叶筒内叶片在抄板上的掉落过程,提升叶片的耐加工性,利用三维建模软件建立松散润叶筒三维模型,通过Rocky 2021 R2离散元仿真软件创建薄片柔性叶片进行数值模拟,对叶片在松散润叶筒内抄板上的运动进行可视化计算。根据抄板上叶片的持料量百分比曲线和落料速率曲线,将叶片的掉落过程分为两个阶段。结果表明:片状颗粒的受力区别于刚性球体间的点对点接触受力,叶片形状不可忽略;松散润叶筒转速为15 r/min时,叶片在筒体底部分布较少,筒体上半部分分布较多;抄板安装角度为80°时,板上持料量增多,抄板倾角较合理,增温增湿效果最优;松散润叶筒倾角对叶片在抄板上掉落的轴向速度影响显著。通过仿真得出叶片在抄板上掉落过程的优化参数,有助于松散润叶过程调控,指导实际工业生产。 展开更多
关键词 片状叶片 离散元法 Rocky离散元仿真软件 抄板 数值模拟
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社会治理共同体视阈下基层社会心态秩序失衡及其重塑
14
作者 高艺霞 王小语 《重庆社会科学》 北大核心 2024年第4期68-78,共11页
社会心态是促进人的全面发展和社会全面进步的心理基础,构建社会治理共同体能有效消解当代中国基础社会心态失序的问题。社会治理共同体与社会心态之间有机统一、相辅相成,人民性是社会治理共同体的本质属性,基层社会心态秩序是构建社... 社会心态是促进人的全面发展和社会全面进步的心理基础,构建社会治理共同体能有效消解当代中国基础社会心态失序的问题。社会治理共同体与社会心态之间有机统一、相辅相成,人民性是社会治理共同体的本质属性,基层社会心态秩序是构建社会治理共同体的重要一环,社会治理共同体是基层社会心态秩序建设的实践指向,社会治理共同体与基层社会心态秩序建设的逻辑耦合,具有本质相关性、整体联动性、互构共生性,为推动构建良好基层社会心态秩序提供了重要学理支撑。当前,基层社会治理中仍然存在因发展成果共享不足带来基层社会心态失序、“陌生人社会”带来基层社会信任危机、社会治理主体单一导致社会参与意识淡薄、基层社会心态圈层化催生群体极化现象等问题,一定程度影响并阻碍着新时代社会治理现代化的步伐和成效。因此,亟须完善社会心态失衡的疏导机制、利用数字化手段建设社会信任、激化社会心态治理的多元参与、整合多方资源打破社会心态圈层,切实推进和谐社会心态秩序的建设。 展开更多
关键词 社会治理共同体 社会心态秩序 基层治理
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督导制度的渊源及本科教学督导的实践与探索——以华东理工大学为例 被引量:3
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作者 周玲 凌昊 李慧 《北京教育(高教)》 2020年第7期44-47,共4页
教育教学督导是国家加强对教育事业全面管理,实现依法治教、规范办学行为、提高教育质量、促进教育事业健康发展的重要手段。发达国家的教育教学督导制度历史悠久,并已成为各国提高教学质量的基本制度。高校教育教学督导制度是内部质量... 教育教学督导是国家加强对教育事业全面管理,实现依法治教、规范办学行为、提高教育质量、促进教育事业健康发展的重要手段。发达国家的教育教学督导制度历史悠久,并已成为各国提高教学质量的基本制度。高校教育教学督导制度是内部质量保障体系的重要环节,在介绍督导制度历史渊源的基础上,通过对本科教学督导工作机构、职责和工作方式进行分析,并对华东理工大学完善本科督导工作机制方面的探索与实践进行了介绍,就存在的问题进行了讨论与反思。 展开更多
关键词 督导制度 本科教学督导 教学质量 实践
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环氧树脂包覆聚磷酸铵-聚丙烯阻燃体系构建
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作者 孙维根 陈葵 +4 位作者 刘成娟 王超 武斌 纪利俊 吴艳阳 《工程塑料应用》 CAS CSCD 北大核心 2024年第3期146-152,共7页
为构建膨胀聚丙烯(PP)阻燃体系,采用原位聚合法制备环氧树脂包覆聚磷酸铵微胶囊(EP-APP)以改善APP与PP材料的相容性,并选用季戊四醇(PER)为成炭剂与EP-APP构成膨胀型阻燃剂(IFR),制备PP/EP-APP/PER阻燃复合材料。以微胶囊的水溶性为指... 为构建膨胀聚丙烯(PP)阻燃体系,采用原位聚合法制备环氧树脂包覆聚磷酸铵微胶囊(EP-APP)以改善APP与PP材料的相容性,并选用季戊四醇(PER)为成炭剂与EP-APP构成膨胀型阻燃剂(IFR),制备PP/EP-APP/PER阻燃复合材料。以微胶囊的水溶性为指标优化微胶囊包覆工艺,考察了EP-APP与PER质量比和IFR添加量对复合材料的阻燃性能及力学性能的影响,分析了IFR中EP-APP与PER的反应机理。结果表明,当EP加入量为APP质量的10%、固化剂三乙烯四胺(TETA)用量为EP质量的15%时,采用40℃(1 h)+70℃(1 h)的固化反应温度设置,可制得有良好耐水性的EP-APP微胶囊。当IFR质量分数为25%,IFR中EP-APP与PER质量比为3∶1时,制得PP/APP/PER阻燃复合材料的极限氧指数(LOI)达到35.0%,垂直燃烧性能达到UL94V-0等级,且复合材料仍能保持较好的拉伸性能。热重分析表明,IFR的分解反应可分为三个阶段:首先是EP-APP受热分解后与PER发生反应,生成含有磷酸酯键的物质;然后是酯类化合物生成稳定的环状酯并释放出H2O和NH3;最后上述产物进一步形成双环及多环磷酸酯并在高温下炭化形成致密的炭层,隔氧隔热从而发挥阻燃作用。 展开更多
关键词 聚丙烯 环氧树脂 聚磷酸铵 水溶性 性能测试 反应机理
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采用沉淀−煅烧法回收盐湖卤水中镁资源制备镁橄榄石耐火材料
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作者 张烨 胡岳华 +1 位作者 王丽 孙伟 《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第2期694-708,共15页
通过沉淀−煅烧法研究盐湖锂镁分离和镁资源制备高附加值的镁橄榄石耐火材料。采用Na_(2)SiO_(3)和NaOH组合沉淀剂将盐湖卤水中的锂、镁离子沉淀分离,获得不同MgO/SiO2摩尔比的镁沉淀物。镁沉淀物主要由无定形硅酸镁和氢氧化镁堆积而成,... 通过沉淀−煅烧法研究盐湖锂镁分离和镁资源制备高附加值的镁橄榄石耐火材料。采用Na_(2)SiO_(3)和NaOH组合沉淀剂将盐湖卤水中的锂、镁离子沉淀分离,获得不同MgO/SiO2摩尔比的镁沉淀物。镁沉淀物主要由无定形硅酸镁和氢氧化镁堆积而成,在1400℃条件下的质量残留率均在62%以上。高温烧结实验表明,在Mg/Na_(2)SiO_(3)/NaOH的摩尔比为1:0.6:0.8、烧结温度为1350℃、时间为210 min的条件下,镁沉淀物可制备成性能优良的耐火材料,其耐火度在1800℃以上,抗压强度为190.73 MPa,体积密度为2.53 g/cm^(3),显气孔率为5.94%。所制备的耐火材料主要为镁橄榄石相,含有少量的顽火辉石相。 展开更多
关键词 盐湖卤水 组合沉淀剂 锂镁沉淀分离 镁沉淀物 镁橄榄石耐火材料
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聚丙烯腈复合纳米纤维膜的制备及其对金属离子的吸附性能
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作者 赵振杰 杨雪红 +3 位作者 马坤 朱志华 奚桢浩 王杰 《华东理工大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2024年第1期36-45,共10页
以羧基化聚丙烯腈(CPAN)为原料,通过复合改性和接枝改性的方式,制备β-环糊精(β-CD)/CPAN-g-聚乙烯亚胺(PEI)复合纳米纤维膜,为体系引入亲水的β-CD和吸附性能优异的PEI。通过红外光谱仪、X射线衍射仪、万能材料试验机、场发射扫描电... 以羧基化聚丙烯腈(CPAN)为原料,通过复合改性和接枝改性的方式,制备β-环糊精(β-CD)/CPAN-g-聚乙烯亚胺(PEI)复合纳米纤维膜,为体系引入亲水的β-CD和吸附性能优异的PEI。通过红外光谱仪、X射线衍射仪、万能材料试验机、场发射扫描电镜等仪器对复合纳米纤维膜进行结构及性能表征,使用等离子体发射光谱仪、X射线光电子能谱仪探究复合纳米纤维膜对Cd^(2+)和Pb^(2+)的吸附性能及吸附机理。结果表明:改性得到的β-CD/CPAN-g-PEI复合纳米纤维膜具有优异的吸附性能,同时保留了纤维膜原有的力学性能,其对Cd^(2+)和Pb^(2+)的最大吸附量分别为176.67 mg/g和240.83 mg/g,吸附过程符合拟二级动力学模型和Langmuir等温吸附模型,且循环使用5次后仍保持80%以上的吸附性能。 展开更多
关键词 聚丙烯腈 环糊精 静电纺丝 吸附 金属离子
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超临界二氧化碳介质中晶圆清洗与选择性刻蚀研究进展
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作者 张泽欣 郑伟中 +5 位作者 徐益升 胡冬冬 卓欣宇 宗原 孙伟振 赵玲 《化工学报》 EI CSCD 北大核心 2024年第1期110-119,共10页
随着集成电路特征尺寸的逐渐减小,器件结构会要求更高的纵横比,常规湿法清洗由于表面张力很难进入晶圆深沟槽结构内部,不能满足更细线条工艺要求和高深宽比结构,直接影响沟槽内的污染物去除效果;常规湿法刻蚀各向异性差、结构坍塌严重... 随着集成电路特征尺寸的逐渐减小,器件结构会要求更高的纵横比,常规湿法清洗由于表面张力很难进入晶圆深沟槽结构内部,不能满足更细线条工艺要求和高深宽比结构,直接影响沟槽内的污染物去除效果;常规湿法刻蚀各向异性差、结构坍塌严重、深沟槽刻蚀效果不明显;而等离子体干法刻蚀则存在刻蚀速率慢、光刻胶脱落和黏附、结构损伤、废气处理等一系列问题。超临界清洗和刻蚀技术是最具有前景的环境友好、无损伤技术,能够耦合刻蚀、清洗与干燥工艺为一体,且可以循环使用,安全环保,是晶圆制造过程中常规清洗和刻蚀的首选替代技术。综述了超临界二氧化碳中晶圆清洗与选择性刻蚀的研究进展,重点介绍了超临界二氧化碳共溶剂、微乳液体系在光刻胶剥离以及含硅基底选择性蚀刻中的应用,展望了超临界二氧化碳晶圆清洗和刻蚀存在的问题和发展趋势。 展开更多
关键词 晶圆清洗 晶圆刻蚀 超临界二氧化碳 超临界流体 微乳液
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聚酰亚胺辅助制备高定向石墨烯基全炭泡沫及其在导热聚合物复合材料中的应用
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作者 熊科 孙智鹏 +5 位作者 胡吉辰 马成 王际童 葛翔 乔文明 凌立成 《新型炭材料(中英文)》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第2期271-282,共12页
石墨烯及其衍生物具有高纵横比的二维层状结构,在加工过程中通常倾向于水平排列。因此,石墨烯基复合热界面材料虽然具有较高的面内热导率,但其表现出的低面外热导率难以满足实际应用需求。本文通过定向冷冻策略制备了竖直排列的聚酰亚胺... 石墨烯及其衍生物具有高纵横比的二维层状结构,在加工过程中通常倾向于水平排列。因此,石墨烯基复合热界面材料虽然具有较高的面内热导率,但其表现出的低面外热导率难以满足实际应用需求。本文通过定向冷冻策略制备了竖直排列的聚酰亚胺/石墨纳米片(PG)导热骨架以提高聚合物复合材料的面外热导率,其中石墨纳米片(GNs)为高导热石墨烯薄膜的粉体边角料。在该过程中,采用水溶性聚酰胺盐溶液直接分散疏水的GNs,热亚胺化后获得的聚酰亚胺在辅助GNs定向排列的同时经石墨化处理转变为人造石墨。同时,GNs的引入提高了PG骨架的有序度和密度,进一步提高了聚二甲基硅氧烷(PDMS)基复合材料的强度和导热性能。结果表明,所制备的PDMS/PG复合材料(PG:21.1%)的面外热导率达14.56 W·m^(−1)·K^(−1),是纯PDMS的81倍。这种简便的聚酰亚胺辅助二维疏水填料定向排列的方法为各向异性热界面材料的规模制备提供了思路,同时实现了石墨烯薄膜边角料的再利用。 展开更多
关键词 石墨烯膜 二次利用 热导率 各向异性泡沫 热界面材料
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