全自动光刻机自动对准与激光扫描光学系统

本文首先概述了全自动光刻机的对准光学系统,接着详细阐述了激光扫描实时检测对准误差的基本原理,分析了扫描对准光学系统的设计要求,讨论了设计时应该遵循的原则、设计方法、设计步骤和有关方案,并给出了部分测试结果.

光学信息处理系统的精密调整

提出一种简单易行的方法精密调整Fourier光学系统的光路,其中包括照明光束的准直,物面、谱面、象面三个特征平面的精密定位,其定位精度均在允许的最大离焦范围内。

半导体激光系统整形棱镜的设计

本文根据半导体激光器的发光特性和棱镜的光学折射性质,提出了半导体激光系统中整形棱镜的设计和进行光束质量优化的方法.

半导体激光系统的特殊设计

根据半导体激光器远场光束呈椭圆斑,输出功率、光谱特性、寿命、温度以及输出具有偏振性等光学特性,本文讨论了半导体激光系统的特殊设计问题。着重研讨半导体激光器输出功率的稳定,椭圆光束的准直和整圆等。

1.3微米单模光纤耦合光学环行器

光学环行器是一种多端口非互易元件,它具有光的非互易传输特性.如图1所示,当光正向通过环行器时,只能依图中箭头方向传输,而当光反向依反序传输或是跳序传输时则被阻塞.由于光学环行器具有这一独特的功能,因此在光信息技术中有至关重要的作用.本文叙述一种适用于1.3μm光学环行器的结构及其性能测试结果.

扩展长波红外探测的铱硅化物硅肖特基势垒的研究

通过制备铱硅化物—硅肖特基势垒,分析了衍射相,讨论了铱硅化物成膜工艺及其与薄膜方块电阻的关系,测量并分析了势垒高度,红外光吸收率。研究结果表明,铱硅化物—硅是一种有希望扩展肖特基势垒红外探测范围的新型势垒结构。

宽带偏振分光镜及其应用

偏振分光元件是光隔离器、环行器的关键元件之一.本文作者采用在直角棱镜上镀制多层介质偏振分光膜的方法,获得两束相互正交的偏振光,并通过合理地选择膜系结构参数和制备工艺,使两束偏振光的偏振度同时达到最佳,从而研制出一种宽带偏振分光镜.

多变量自适应光学谐振腔系统动态特性的研究

针对自适应高功率激光非稳腔，在建立整个自适应激光谐振腔系统的数学模型基础上，首次运用现代控制理论中的多变量频域分析法进行系统的动态特性研究，分析了闭环系统的稳定性、动态特性及关联性，同时提出了系统的重要参数之一──系统开环增益选择的限制条件．

半导体激光放大器高效减反膜

本文提出了设计高斯场光学膜系的方法、电子枪真空反应溅射工艺和反射率实时监控技术.利用所提出的设计方法、工艺和监控技术,在面积为0.2×2μm^2的半导体激光器(LD)芯片有源层解理面上,设计制备了剩余反射率低至5×10^(-4)的减反膜,从而获得性能优越的行波半导体激光放大器.

和型莫尔偏折术的探讨

探讨了一种和型莫尔偏折术．将两组周期相同的干涉条纹同时投射到接收面上，让光强相加而得到莫尔条纹．分析了其原理，并用计算机进行了模拟．

反射式大功率CO_2激光功率测试仪

大功率CO_2激光器的功率测量关键在于大功率激光光束取样杆应在不影响光束工作条件下取样测量激光光束功率,被测量的激光功率可高达上万瓦.在研制反射式取样功率计过程中,重点考虑在保证测量精度及稳定性条件下,尽量使仪器成本降低.反射式的光学系统可以减少加工费用;反射口径可做得比较大,适用于大口径激光束测量,同时反射镜重量轻.另一方面,采用自行设计与研制的温差多接点热电堆探测器。

超导体在光电子学领域中的应用展望

综述了超导体在光电子学领域中的应用,并对高温超导材料在光电子学中的应用前景作了展望。

激光定位焊接半导体激光放大器耦合光纤

在光纤通信系统中,光电器件(如LD,LED,SLA等)的芯片与耦合光纤之间的耦合稳定性对于光电器件的性能和使用寿命有着重要的意义.在光电器件实用化的过程中,陆续产生了一些保证耦合稳定性的方法,如V型槽定位,铟焊法,快速固化胶合法等,这些方法的共同缺点是复杂、可控性低、稳定性差.特别是对于单模光纤与光电器件芯片之间的高效率耦合,由于单模光纤端面一般都做了特殊处理(如锥端类球透镜),因此。

Fθ,Fourier透镜畸变像差分析与计算方法的研究

本文分析了Fθ透镜和Fourier变换透镜畸变像差的特性;讨论了用常规成像光学系统像差计算程序准确计算这两类特殊透镜、特别是高精度Fθ透镜畸变像差的两种行之有效的方法,给出了有关的计算公式.

光波导的静磁波调制理论与磁光调制器

本文研究了具有任意磁化方向的静磁波调制的光调制理论和静磁波与光波相互作用。用耦合模理论研究TE(?)TM模随静磁波的变换,导出TE(?)TM模式转换效率表达式,给出理论上获得最大转换效率的条件。

光波场的相干性(上)

本文给出了描述光场相干性的基本物理量．从迈克尔逊干涉实验出发，讨论了时间相干性．以矩形谱线的光源为例，计算了时间相干度．简要介绍了傅里叶变换光谱学原理．同时从杨氏干涉实验出发，讨论了空间相干性、准单色光的干涉以及相干性的传播规律及其在迈克尔逊测量干涉仪上的应用．

激光二极管光束经光阑整形:耦合效率与波差分析

对激光二极管光束经光阑整形的方法进行了理论与数值分析,给出了光能耦合效率和波象差的数值计算结果。所得结论与数据有益于激光二极管光学系统的设计。

冷轧带钢表面缺陷检测的信号处理

冷轧带钢的表面质量是一项重要的管理项目.随着现代化的发展,对冷轧带钢表面质量的要求越来越高.目前国内检测冷轧带钢表面缺陷的方法,是带钢在低速传送下,由人目视检测,因而生产效率很低.本文研究了一种适用于高速传送带钢的生产线上的由激光扫描器和信号处理系统组成的自动表面缺陷检测系统.

色心激光器及其发展

色心激光器由于其特殊的调谐范围及单频、窄线宽的工作特点,可作为高分辨率的分光仪的理想窄带光源而用于分子振动一转动跃迁的研究,在光纤通信、超高速现象的研究等方面也有其独特的应用。本文叙述色心的构造及其特点,色心激光器的泵浦及泵浦的最佳化,调谐方式及新调谐范围的进展,单频、窄线宽运行的实现、激光脉冲的压缩等。最后指出色心激光器的发展方向和可能的应用。