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热等离子体技术制造铜铬触头材料 被引量:1
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作者 王永兴 邹积岩 《电工电能新技术》 CSCD 1997年第1期26-29,34,共5页
本文简单介绍了热等离子技术的原理及真空开关用铜铬触头材料制造工艺现阶段的研究发展状况,对热等离子体技术在铜铬材料制备中的应用作了评述。
关键词 热等离子体技术 真空断路器 触头材料 制造工艺
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用于真空电弧涂镀中的静电探针诊断装置 被引量:6
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作者 杨磊 邹积岩 +1 位作者 程仲元 张汉明 《微细加工技术》 1995年第3期63-67,共5页
本文介绍了一套能准确诊断真空电弧等离子体参数的Langmuir探针系统。测得典型参数:电子温度0.6-0.7eV,等离子体电位2V,电子浓度2×10 ̄(15)/m ̄3。该装置可用于自动监控成膜过程。
关键词 静电探针 真空电弧镀膜 真空镀膜 诊断装置
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