基于频闪法的MEMS动静态测试系统

为了对MEMS器件的3D形貌、垂向位移与形变、共振频率等特性进行精确的非接触式的测量,研制了一种基于激光频闪法的MEMS动静态测试系统。该系统以改进了的泰曼干涉仪为核心,采用激光照明,结合五步相移算法,获得MEMS器件静态表面的3D形貌图。使激光频闪的频率与MEMS器件驱动信号源频率一致可以获得相对“冻结”不变的3D形貌。改变频闪激光相对于MEMS器件驱动信号源的相对相位延时,可以获得周期内的MEMS器件离面运动轨迹等参数。本文设计并实现了与该系统配套的数据处理软件。该系统对于离面运动的测量精度可达1nm,最高测试频率可达500kHz。通过对可变形反射镜的测试验证了该系统的可靠性与通用性。

长脉冲高能激光能量测试技术的研究

用锥形腔量热式激光能量计 ,测量了在不同脉冲宽度条件下 ,脉冲激光能量和激光吸收腔温升之间的关系 ,并用传统的方法得到不同激光能量对应的温升 ,并按照有关公式计算得到激光能量 ,结果表明实际激光能量和按传统方法计算得到的激光能量之间存在较大的差距 ;我们从理论上分析了由于热辐射、热传导影响 ,得出锥形吸收腔时间温度曲线关系的数学模型 ;用该数学模型对测量得到温度时间曲线进行最小二乘法拟合 ,拟合曲线和实际曲线非常吻合 ;通过该曲线我们对测量结果进行修正 ,和传统数据处理方法比较 。

基于VO_2薄膜非致冷红外探测器性能研究

用微电子工艺制备了 V O2 溅射薄膜红外探测器 ,在 2 96 K的环境温度中测试了该探测器对 8- 12 μm红外辐射的黑体响应率和噪声电压 ,结果显示该探测器在调制频率为 30 Hz时可以实现探测率 D*=1.89× 10 8cm H z1 /2W- 1 ,热时间常数 τ=0 .0

相变型VO_2薄膜的制备及其特性的研究

利用反应离子束溅射和后退火工艺制备一种新的相变型VO2薄膜,对该薄膜进行电学测试、XRD和光学透过率的测试。这种工艺制备出的相变型VO2薄膜相变温度更接近室温,XRD显示这种薄膜中有VO2、V2O5成分的存在。对这种薄膜的光学透过率测试表明,低温下薄膜的透过率是高温下薄膜透过率的近5倍。通过实验可以看出,氧气分压、退火温度、退火时间是影响制备新型相变型VO2薄膜的重要因素。

基于标量衍射理论下的球面折射微透镜对高斯光束的准直研究(英文)

本文应用瑞利 -索末菲标量衍射理论分析了具有球面轮廓的折射微透镜对激光器输出高斯光束的准直特性 .数值结果显示 ,在最佳准直条件下 ,高斯光束经过球面折射微透镜准直后的传输是一个振荡过程 ;同时 ,如果不考虑微透镜的衍射效率 ,当球面折射微透镜的F数越大 ,高斯光束经过准直变换后的远场发散角越小 .

一种保证EPON中DBA公平性的算法

动态带宽分配是以太网无源光网络(EPON)系统的一个重要研究领域,文章提出一种在EPON系统中保证动态带宽分配公平性的新型算法。该算法计算量适中,同时兼顾了动态带宽分配的效率和公平性。文中通过推导给出了最优算法,并在模拟流量下进行了仿真,通过与已有算法的对比,证明其有很好的性能。

羰基铁/SiO_2磁性核壳复合粒子研究

采用溶胶-凝胶方法制备了羰基铁/SiO2核壳复合粒子。采用扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)、X射线衍射仪(XRD)、红外测试分析仪(FTIR)、振动样品磁强计(VSM)、热重分析仪(TG-DTA)等对材料形貌、微观结构、分子结构与性能进行表征,并分析了羰基铁粉表面包覆机理。实验结果表明,羰基铁粒子表面被均匀地包覆非晶态SiO2纳米壳层。包覆后的核壳复合粒子仍具有很好的超顺磁性能,适当控制壳层的厚度可以提高超顺磁性能,同时抗氧化性能也明显提高。

改进的PCVD工艺制造高掺硼材料的性能研究

介绍了一种用于制造光纤的高掺硼石英材料的性能。简单回顾基本的工艺条件和关键工艺参数之后,主要讨论材料性能,如玻璃结构、折射率、粘度、热膨胀系数和残余应力等。另外还介绍了两种高掺硼光棒的性能。

CCD图像传感器的微透镜阵列设计与实验研究

为了最大程度地改善CCD图像传感器的填充因子 ,进行了用于与CCD集成的微透镜阵列的光学优化设计 ,并与实验结果进行了对比。测试结果表明 ,所设计的透镜阵列使CCD的填充因子提高 2 .9倍 ,相对光谱响应增加了 0 .2。所设计的透镜对于改善CCD入射信号光的光强分布、提高光利用效率 。

利用VFW实时视频实现精确调焦

基于智能化测量仪的研制 ,就如何利用VFW实时视频 ,人工调节计算机判别 ,方便的实现精确调焦进行了探讨和研究 ,为图像测量系统图像的采集和处理提供方法。

基于VO_2薄膜非致冷红外探测器光电响应研究

VO2 薄膜是非致冷微测辐射热红外探测器热敏电阻材料 .研究中应用微电子工艺制备了VO2 溅射薄膜红外探测器 ,在 2 96K的环境中测试了该探测器在不同的直流偏置、光调制频率下对 873K标准黑体源 8— 12 μm红外辐射的光电响应以及器件的噪声电压 ,在 10和 30Hz的调制频率下其响应率分别大于 17kV/W和接近 10kV/W .该探测器实现了探测率D 大于 1 0× 10 8cmHz/W ,热时间常量为 0 0 11s的 8— 12

带透明电极可变形反射镜的研制

提出了基于微电子机械系统(MEMS)技术的一种新型的带透明电极的可变形反射镜。给出了透明电极、超薄镜面和驱动电极的制作工艺及其工作特性。静态测试结果表明,带透明电极的可变形反射镜驱动电压低,最大变形量可达19μm,有效反射面积可达200 mm2,能很好地改善整个自适应系统的性能。

基于VO_x薄膜8元线列非致冷微测辐射热红外探测器的制备

报道了应用反应离子束溅射以及后退火工艺在石英玻璃以及Si(10 0)衬底上淀积混合相 VOx 多晶薄膜,并且在石英衬底上制备了实验用 8元线列红外探测器。用扫描电镜(SEM)和X射线衍射仪(XRD)分别测试结果显示薄膜为表面光滑、致密且具有针状晶粒的混合相多晶结构,探测器的性能测试结果显示该探测器可以实现 8～