基于激光干涉测量的硅键合工艺分析

利用激光干涉测量法,对键合后的硅片表面翘曲进行了检测,统计了表面质量分布,对键合工艺进行筛选,优化工艺参数,表面质量得到很好的保证。

关于倍频绿光问题的研究(英文)

采用双波片晶体的物理模型和Jones矩阵方法 ,得到了在连续多纵模腔内倍频激光器中压缩噪声的必要条件 ,推导出与Ⅱ类和Ⅰ类相位匹配方式相对应的消除和频效应的公式 ,并推广为往返Jones矩阵元所应满足的关系 ,以及相应的腔内本征矢。

脉冲Nd:YAG激光熔凝处理5Cr4Mo3SiMnVAl模具钢的组织特征

对回火态 5 Cr4 Mo3Si Mn VAl(0 12 Al)冷作模具钢脉冲 Nd:YAG激光熔凝处理后的熔凝区、相变硬化区及回火区的组织进行了研究。激光熔凝处理后得到六层不同的组织。对这六层组织进行了 SEM观察。在用一维解析模型计算出脉冲 Nd:YAG激光熔凝处理的温度场、温度梯度场和冷却速率场的基础上 。

薄板模具钢脉冲Nd∶YAG激光熔凝试样变形量的测量

在厚度为 0 3～ 0 8mm的 5Cr4Mo3SiMnVAl(0 12Al)模具钢和Cr12MoV模具钢薄板上 ,采用脉冲Nd∶YAG激光进行了激光熔凝实验 ,研究了工艺参数 (脉冲宽度和脉冲频率 )、材质和材料厚度对激光熔凝后试样厚度方向上最大变形量的影响。结果表明 ,激光熔凝薄板模具钢所引起的变形相当严重 ,其最大弯曲变形量与材料厚度为同一个数量级 ;随着脉冲频率的减少或脉冲宽度的增加或材料厚度的减少 ,试样厚度方向上的最大弯曲变形量增大 ;Cr12MoV钢试样厚度方向上的最大弯曲变形量比 0 12Al钢的大。激光熔凝工艺参数。

薄板模具钢脉冲Nd:YAG激光熔凝区显微硬度特征的影响因素

本文在厚度为 0 .5— 2 .0mm的 5Cr4Mo3SiMnVAl(0 12Al)模具钢和Cr12MoV模具钢薄板上 ,采用脉冲Nd :YAG激光进行了激光熔凝实验 ,研究了工艺参数 (脉冲宽度和脉冲频率 )、材质和材料厚度对激光熔凝后熔凝层显微硬度特征的影响。结果表明 :随着脉冲宽度的增加或脉冲频率的减少 ,激光熔凝区的显微硬度有减少的趋势 ;Cr12MoV模具钢的激光熔凝区的显微硬度比 0 12Al模具钢的低 ;随着材料厚度的增加 ,激光熔凝区的显微硬度表现为先增加后减少的趋势。激光熔凝工艺参数、材料的热扩散情况和材料的热物性参数的不同是造成上述现象的主要原因。

薄板模具钢脉冲Nd :YAG激光熔凝区的几何形状特征

在厚度为 0 .3— 2 .0mm的 5Cr4Mo3SiMnVAl( 0 1 2Al)模具钢和Cr1 2MoV模具钢薄板上 ,采用脉冲Nd :YAG激光进行了激光熔凝实验 ,研究了工艺参数 (脉冲宽度和脉冲频率 )、材质和材料厚度对激光熔凝后熔凝层几何形状特征的影响 ,并用一维解析模型进行了熔化深度的计算。结果表明 :随着脉冲宽度的增加或脉冲频率的减少 ,激光熔凝区的宽度和深度增加 ;Cr1 2MoV模具钢的激光熔化区宽度和深度比 0 1 2Al模具钢的大 ;随着材料厚度的增加 ,激光熔凝区的宽度增加 ,深度减小 ;用一维温度场解析模型进行熔化深度的计算是有效的。激光熔凝工艺参数。