-
题名水松纸激光打孔技术研究
被引量:14
- 1
-
-
作者
韩要轩
陈培锋
周卓尤
陈泽民
张向明
邓国华
-
机构
华中科技大学激光工程研究院
-
出处
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2002年第5期330-333,共4页
-
文摘
讨论了用连续CO2 激光器对水松纸打孔的原理和实现方案 ,就其中一种方案的打孔结果进行分析 ,指出激光打孔时影响打孔水松纸透气度的一些因素。
-
关键词
打孔
水松纸
透气度
CO2激光器
-
Keywords
perforating
tipping paper
permeability
-
分类号
TG665
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
TN248.
[电子电信—物理电子学]
-
-
题名射频激光对氧化铝陶瓷基片划片的研究
被引量:5
- 2
-
-
作者
候廉平
陈陪峰
陈清明
-
机构
华中科技大学激光工程研究院
-
出处
《佛山陶瓷》
2002年第11期3-8,共6页
-
文摘
分析了射频CO2激光陶瓷基板划片的机理及工艺参数选择的原则,通过数值模拟和实验,分析了脉冲频率、脉冲宽度、划片速度、辅助气压大小、离焦量等工艺参数对激光划片质量的影响。
-
关键词
射频激光
氧化铝陶瓷基片
划片
研究
射频CO2激光器
-
Keywords
RFCO2 laser,scribing,Al2O3ceramicsubstrate
-
分类号
TQ174
[化学工程—陶瓷工业]
-
-
题名单片机控制的激光标刻机
被引量:5
- 3
-
-
作者
雷建设
黄肇明
郭振华
李又生
刘斌波
-
机构
上海大学通信与信息工程学院
华中科技大学激光工程研究院
-
出处
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2001年第2期140-143,共4页
-
文摘
给出了用于工业领域的单片机控制的激光标刻机的原理和实现方法 ,以及单片机控制系统的硬件与接口程序。
-
关键词
激光标刻机
单片机
控制系统
计算机控制
-
Keywords
laser marking single chip microcomputer control system
-
分类号
TN249
[电子电信—物理电子学]
-
-
题名射频CO_2激光陶瓷基板划片机光路设计及分析
被引量:1
- 4
-
-
作者
侯廉平
陈陪峰
王圩
-
机构
中国科学院半导体研究所国家光电子工艺中心
华中科技大学激光工程研究院
-
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
2004年第1期37-42,共6页
-
文摘
介绍了RFCO2激光陶瓷基板划片的特点。分析了导光系统的设计原则,着重讨论了圆偏振镜和伽利略离焦望远镜的作用和特点。对导光系统进行了优化和模拟,给出了导光系统的光路图及成像质量图。试验结果和理论相符,系统划片速度可达10m/min,划缝宽度<0.1mm,划缝深度>0.3mm。
-
关键词
激光加工设备
陶瓷基板
划片机
光路
设计
导光系统
-
Keywords
laser processing equipment
ceramic substrate
scriber
light paths
design
-
分类号
TQ174.6
[化学工程—陶瓷工业]
TG665
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
-
-
题名射频CO_2激光陶瓷基板划片机
被引量:1
- 5
-
-
作者
侯廉平
陈陪峰
陈清明
-
机构
华中科技大学激光工程研究院
武汉金石凯激光技术有限公司
-
出处
《佛山陶瓷》
2003年第10期31-34,共4页
-
文摘
介绍了RFCO2激光器及其陶瓷基板划片的特点;分析了RFCO2激光陶瓷基板划片的机理,给出了整机总体设计方案。对导光系统的激光束进行了模拟,给出了导光系统的光路图及聚焦镜焦平面处的光斑尺寸及能量分布图,整机性能指标达到国外进口机的水平。
-
关键词
射频CO2激光
陶瓷基板
划片机
RF-CO2激光器
导光系统
激光束
光路图
-
Keywords
ceramic substrate,laser scribing,RF CO 2 laser
-
分类号
TQ174.6
[化学工程—陶瓷工业]
-
-
题名射频CO_2激光陶瓷基板划片机
- 6
-
-
作者
侯廉平
陈陪峰
陈清明
-
机构
华中科技大学激光工程研究院
武汉金石凯激光技术有限公司
-
出处
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2002年第6期54-56,共3页
-
文摘
介绍了RFCO2 激光器及陶瓷基板划片的特点。分析了RFCO2 激光陶瓷基板划片的机理 ;给出了整机总体设计方案。对导光系统的激光束进行了模拟 ,给出了导光系统的光路图及聚焦镜焦平面处的光斑尺寸及能量分布图。
-
关键词
射频
CO2激光
陶瓷基板
划片机
激光划片
二氧化碳
-
Keywords
ceramic substrate,laser scribing,RF CO 2 laser
-
分类号
TG665
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
-
-
题名激光化学气相沉积技术在掩模版修复中的应用
被引量:3
- 7
-
-
作者
黄河
朱晓
朱长虹
朱广志
李跃松
张沛
万承华
-
机构
华中科技大学激光工程研究院
清溢精密光电有限公司
-
出处
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第3期330-332,共3页
-
文摘
为了对光掩模版亮场缺陷进行修补,采用激光化学气相沉积的方法,利用功率密度为1.3×108W/cm2的355nm紫外激光诱导Cr(CO)6分解,在1.5 s内获得了光掩模亮场区域附着力强、消光比高的金属Cr膜。结果表明,在开放的环境下,采用高功率密度、短作用时间的方法能够得到高质量的沉积薄膜,满足了微电子行业中对掩模版修复的要求。
-
关键词
激光技术
光化学
光掩模修复
激光化学气相沉积
开放式
-
Keywords
laser technique
photochemistry
photomask repair
laser induced chemical vapor deposition (LCVD)
open air
-
分类号
TQ034
[化学工程]
-
-
题名射频CO_2激光陶瓷基板划片机
被引量:2
- 8
-
-
作者
侯廉平
陈培峰
陈清明
-
机构
武汉金石凯激光技术有限公司
华中科技大学激光工程研究院
-
出处
《应用激光》
CSCD
北大核心
2003年第4期209-212,共4页
-
文摘
介绍了RFCO2 激光器及其对陶瓷基板划片的特点。分析了RFCO2 激光陶瓷基板划片的机理 ;给出了整机总体设计方案。对导光系统的激光束进行了模拟 ,给出了导光系统的光路图及聚焦镜焦平面处的光斑尺寸及能量分布图。
-
关键词
陶瓷基板
激光划片
RF-C02激光器
射频二氧化碳激光器
聚焦镜焦平面
-
Keywords
ceramic substrate, laser scribing, RF CO 2 laser
-
分类号
TG665
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
-
-
题名光学薄膜沉积监控方法研究
被引量:1
- 9
-
-
作者
杨明红
刘劲松
等
-
机构
华中科技大学激光技术工程研究院
-
出处
《激光与光电子学进展》
CSCD
2001年第9期88-88,共1页
-
-
关键词
光学薄膜
淀积
监控方法
-
分类号
O484
[理学—固体物理]
-
-
题名光腔模式的数值矩阵方法
- 10
-
-
作者
程愿应
胡进
李家熔
-
机构
华中科技大学激光技术工程研究院
-
出处
《激光与光电子学进展》
CSCD
2001年第9期86-86,共1页
-
文摘
对腔镜有限分划,构造数值矩阵,并对其进行特征值求解和迭代,从而实现光腔模式计算.计算了圆形镜共焦腔和虚共焦非稳腔内的光场特性和远场光束质量,通过与理论解和实际结果的比较,证明了此法具有较大的实用价值.
本文提出了基于衍射积分理论的数值矩阵方法,在谐振腔模式计算中取得了很好的效果.其基本思想为:将腔镜划分为足够大数量的、按一定规律分布的面积单元,将镜面上复振幅的连续分布变为这些面积单元上的离散分布.最后,通过数值积分和插值计算,构造出高精度的传输矩阵,将传统迭代法中对光场复振幅的二维积分变为线性叠加,从而可对腔内光束特性迅速求解.
本文先以圆形镜共焦腔为例,计算出腔内基模的复振幅分布(腔镜表面)、腰斑尺寸和远场发散角,和拉盖尔-高斯模型比较,两者较好符合.然后,对华工激光公司的激光器产品采用的虚共焦非稳腔的光束特性计算,和实际结果符合很好.(PH3)
-
关键词
腔镜
光腔模式
数值矩阵方法
-
分类号
TH74
[机械工程—光学工程]
-