双针表面形貌测量系统的研究

介绍一种新颖的双针表面形貌测量系统 ,它将光学位移传感器和触针位移传感器巧妙地结合在一起 ,从而具有接触和非接触两种测量手段。与单一测量模式的表面形貌测量仪器相比 ,它的性能价格比更高 ,应用范围更广。该测量系统已投入实用 ,接触测量模式下其垂直测量范围和垂直分辨率分别是 1mm和 10nm ,非接触测量模式下分别是 5 0 0 μm和 3nm。实践证实 ,该系统使用灵活 。

表面形貌复合测量位移传感器的研究

一种用于表面形貌测量的复合测量位移传感器 ,它将接触式触针传感器和非接触式光学传感器巧妙融合在一起 ,使得一个表面形貌测量位移传感器同时具备接触和非接触两种测量手段。其特点是利用了一个触针—反射镜测杆机构 ,将激光聚焦光束直接在被测工件表面扫描转换为对测杆上固接的反射镜扫描。其垂直测量范围 1 mm,垂直测量分辨率 5nm。该传感器工作稳定可靠 ,使用灵活 。