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现代MOCVD技术的发展与展望 被引量:23
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作者 文尚胜 廖常俊 +3 位作者 范广涵 刘颂豪 邓云龙 张国东 《华南师范大学学报(自然科学版)》 CAS 1999年第3期99-107,共9页
MOCVD是一门制造化合物半导体器件的关键技术- 本文综合分析了现代MOCVD 技术的基本原理、特点及实现这种技术的设备的现状及其发展- 重点讨论了能实现衬底温度、衬底表面反应源流均匀性的立式高速涡轮转盘MOCVD技术-
关键词 MOCVD技术 有机金属化合物 气相外延 衬底
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高亮度InGaAlP DHLED结构设计的研究 被引量:5
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作者 文尚胜 范广涵 +1 位作者 廖常俊 刘颂豪 《华南师范大学学报(自然科学版)》 CAS 2000年第2期13-16,共4页
InGaAlP双异质结LED结构设计的目的在于减少器件的光、电、热损耗 本文分析各层成分、层厚度、掺杂浓度以及有关的辅助技术 ,例如厚电流扩展层、电流隔离层、布拉格反射层、金属电镀反射层、透明衬底等对LED性能的影响 。
关键词 INGAALP 高亮度发光二级管 双异质结 LED
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