数字集成电路的失效分析与技术研究

随着社会的不断发展,集成电路应运而生,并在人们的生产和生活中扮演着重要的角色,其集成度也从最初的小规模向中、大规模演进。在集成电路生产中,硅是主要的材料,过去很长一段时间里,以硅为基础生产的集成电路占集成电路总数的90%以上。以硅为生产材料不仅可以提高集成电路的成品率,还可以缩小光刻线宽,而且单晶硅在质量和尺寸上的工艺提升,还促进了集成电路在监控技术、测量技术、制造工艺、设计技术等方面的应用发展。