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题名微凸点阵列等效热导率模型及仿真验证
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作者
刘云婷
苏梅英
李君
曹立强
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机构
华进半导体封装先导技术研发中心有限公司基础研发部
中国科学院微电子研究所
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出处
《计算机仿真》
北大核心
2023年第2期326-330,373,共6页
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文摘
提出了一种基于高密度微凸点阵列的等效建模方法,以提高目前先进封装散热仿真的求解精度。基于傅里导热定律,研究阵列模型中热量传导路径,结合三维几何积分计算,求解出各向异性材料模型纵向、横向热导率的准确表达式,仿真验证最高温度偏差不超过1.659%的同时,降低80%以上的计算资源。通过上述方法,将一种扇出型晶圆级封装结构中的微凸点阵列进行等效替换,网格数降低83.15%,计算时间降低72.98%,关键测试点温度偏差在1.80%以内。等效模型可以在保证高水平的计算精度的同时,降低计算成本,在高集成度的先进封装热管理工作中具有较大实用性。
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关键词
微凸点
热管理
热导率
等效模型
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Keywords
Micro-bump
Thermal management
Thermal conductivity
Equivalent model
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分类号
N945.12
[自然科学总论—系统科学]
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