氩氧比例对Al_2O_3薄膜结构及性能的影响

以纯铝为靶材,在不同氩氧比例下,采用直流反应磁控溅射方法制备Al2O3薄膜。利用X射线衍射(XRD)、能谱(EDS)、扫描电镜(SEM)和精密阻抗分析等方法检测薄膜的组织结构、化学成分和介电性能。结果表明,在250℃的低温条件下,不同氩氧比例的Al2O3薄膜都为非晶结构。随着氧分量的增加,Al2O3薄膜的表面由平滑致密变得粗糙,化学计量失配度增大。在氧分量较小的气氛下,Al2O3薄膜均匀致密,化学计量失配度较小,Al/O原子比接近2/3。随着氩氧比的增大,Al2O3薄膜的介电常数减小和介电损耗增大,当氩氧比为3∶1时,Al2O3薄膜的介电常数较大(ε=7.9～10.3),介电损耗较小(tanδ<0.2),薄膜的介电性能相对较好。

直流磁控反应溅射制备Al_2O_3薄膜的工艺研究

应用直流磁控反应溅射技术在不锈钢基体上制备Al2O3薄膜,研究了溅射气压、氧气流量和基体温度对Al2O3薄膜的沉积速率和膜基结合力的影响规律。结果表明,随着压力的增大,沉积速率和膜基结合力先增大后减小。在压力为1.0Pa时最大;随着氧气流量的增加,沉积速率和膜基结合力也随之不断减小;随着温度的升高,沉积速率和膜基结合力略有下降。利用扫描电子显微镜观察了薄膜与基体界面及薄膜的表面微观形貌,薄膜与基体的结合性好,薄膜表面晶粒大小均匀,组织致密。

无线数控DNC网络的构建

阐述了基于无线的DNC网络的结构设计,借助相关硬件设备完成了数控车间DNC网络体系的搭建,并将该网络与金工实习中心主干网络连接,实现了各类数控机床与DNC客户终端的网络连接及数据交换。