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题名p型N掺杂ZnO薄膜的MOCVD生长与电学性质
被引量:1
- 1
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作者
汤琨
顾书林
朱顺明
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机构
南京大学物理系南京微结构国家实验室
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出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第S1期341-344,共4页
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基金
国家自然科学基金(60776013
60576017
+2 种基金
50532100)
国家"973"项目基金(2006CB921803)
国家"863"项目基金(2007AA03Z404)
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文摘
通过采用O2与N2O按照一定的流量比作为反应气源,利用MOCVD方法实现了较低电阻率的N掺杂ZnO薄膜。实验分别研究了改变O2与N2O流量比和改变衬底温度对于薄膜电学性质的影响,并利用Raman光谱与Hall测试结果的比较分析了MOCVD系统中非故意掺杂碳元素及其相关杂质对薄膜的作用。实验结果和讨论为解决ZnO的p型掺杂难题提供了一条途径。
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关键词
氧化锌
金属有机物化学气相沉积
P型
氮掺杂
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Keywords
zinc oxide
MOCVD
p-type conductivity
nitrogen doping
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分类号
TN304.055
[电子电信—物理电子学]
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题名ZnMgO生长中压强和衬底对薄膜性质的影响
被引量:2
- 2
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作者
陈慧
顾书林
朱顺明
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机构
南京大学物理系南京微结构国家重点实验室
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出处
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第5期482-486,共5页
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基金
国家自然科学基金(60776013
50532100)
国家"863"计划(2007AA03Z404)资助项目
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文摘
利用金属有机源化学气相沉积(MOCVD)生长方法,在2.5kPa和5kPa生长压强下,分别以sapphire(Al_2O_3)和ZnO为衬底生长ZnMgO薄膜。研究分析了样品的晶体结构、表面形貌、光电学性质。结果表明,衬底和生长压强对ZnMgO薄膜的生长有重要影响。5kPa高压生长和以ZnO为衬底均有利于ZnMgO薄膜中Mg的掺入。
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关键词
ZNMGO薄膜
衬底
生长压强
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Keywords
ZnMgO films
substrate
pressure
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分类号
O482.31
[理学—固体物理]
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题名O_2流量对ZnO薄膜生长及性质的影响
- 3
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作者
周茂峰
顾书林
朱顺明
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机构
南京大学物理系南京微结构国家重点实验室
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出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第S1期349-352,共4页
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基金
国家自然科学基金(60776013
60576017
+2 种基金
50532100)
国家"973"重点基础研究项目2006CB921803)
国家"863"高技术研究发展计划(2007AA03Z404)
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文摘
讨论了MOCVD生长ZnO薄膜各种性质随氧流量的变化规律。固定锌源(DEZn)流量改变氧源(O2)流量,采用低压MOCVD在石英衬底上生长一组ZnO薄膜样品。由厚度测量、Raman散射、XRD表征表明,随O2流量增加,ZnO薄膜生长速率先提高后降低,碳杂质有所减少,晶体质量先提高后降低。PL显示,随O2流量增大带内深能级发光带强度逐步增强,带边发光峰强度也有较大变化,薄膜光学质量先提高后退化。霍尔测量表明,随氧流量增大,薄膜电阻率逐渐增加。实验表明不同氧流量对MOCVD生长的ZnO薄膜多种性质都有规律性影响。
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关键词
氧化锌薄膜
金属有机物化学气相淀积
氧气流量
锌源
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Keywords
ZnO thin films
MOCVD
flow rate of O2
zinc precursor
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分类号
TN304.055
[电子电信—物理电子学]
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题名磁性纳米电机单电子晶体管的自旋输运特性
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作者
王瑞强
王伯根
邢定钰
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机构
南京大学物理系南京微结构国家实验室
华南师范大学物理与电信工程学院广东省高等学校量子信息技术重点实验室
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出处
《物理》
CAS
北大核心
2009年第6期416-419,共4页
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基金
江苏省博士后科研资助计划(批准号:0802008C)资助项目
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文摘
文章作者在研究磁性隧道结的自旋输运中引入量子点的机械振动自由度,将单电子隧穿和振动自由度耦合所导致的shuttle输运理论应用到自旋电子学中.研究结果表明,shuttle输运对自旋极化输运有很大的影响,其独特的输运性质可以用来设计自旋电子器件.文章在理论上提出具有巨磁效应的自旋阀、高性能的半导体自旋注入器以及电流的整流器.
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关键词
可动量子点
自旋阀
自旋注入
整流效应
纳米电机系统
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Keywords
movable quantum dot, spin valve, spin injection, rectification, nanoelectromechanical system
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分类号
O471.1
[理学—半导体物理]
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