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对吸气剂除气有关要素的探讨
被引量:
1
1
作者
朱雷
王海静
+1 位作者
彭松华
黄理胜
《真空》
CAS
2013年第1期75-79,共5页
除气是吸气剂产品生产的关键环节,为了优化除气工艺做过不同形式的技术探讨。在用质谱进行这方面探讨中、初步得到了比较清晰的数据结果、为日后进一步工作做了准备。本文简要介绍这方面情况并进行有关讨论。
关键词
吸气剂
除气
分压强定量测定
气体特性
下载PDF
职称材料
题名
对吸气剂除气有关要素的探讨
被引量:
1
1
作者
朱雷
王海静
彭松华
黄理胜
机构
南京忠铭电子科技有限公司
出处
《真空》
CAS
2013年第1期75-79,共5页
文摘
除气是吸气剂产品生产的关键环节,为了优化除气工艺做过不同形式的技术探讨。在用质谱进行这方面探讨中、初步得到了比较清晰的数据结果、为日后进一步工作做了准备。本文简要介绍这方面情况并进行有关讨论。
关键词
吸气剂
除气
分压强定量测定
气体特性
Keywords
getter
degassing
partial pressure quantitative determination
gas properties
分类号
TB774 [一般工业技术—真空技术]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
对吸气剂除气有关要素的探讨
朱雷
王海静
彭松华
黄理胜
《真空》
CAS
2013
1
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