高反压极小漏电流的微型硅堆SLD的研制

用于军品微光象增强器高倍压电源的微型硅堆,具有高反压V_r≥5000V,极小反向漏电流I_r≤0.005μA、高可靠、外型小等优良特性。因此,研制和生产有较大难度。本文主要介绍了该特种器件的设计、研制和主要工艺特点,并介绍了研制结果。