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射频MEMS技术及其应用 被引量：4
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作者 张玮 崔鸿波 刘刚 《电子科学技术评论》 2005年第3期27-31,共5页
本文从射频微波观点回顾了微电子机械系统(MEMS)技术进展,重点讨论在射频领域,特别是在雷达T/R组件上有望广泛应用的器件、组件以及系统。意在唤起重视MEMS技术在雷达上的推广应用,有益于雷达事业的蓬勃发展。
关键词 射频RF MEMS T/R组件 移相器
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