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倒装芯片封装电迁移失效仿真研究 被引量:2
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作者 孟媛 蔡志匡 +3 位作者 徐彬彬 王子轩 孙海燕 郭宇锋 《固体电子学研究与进展》 CAS 北大核心 2021年第5期399-404,共6页
随着电子封装发展趋于微型化,由倒装芯片封装的电迁移失效而引起的可靠性问题日益严重。运用ANSYS软件建立了倒装芯片三维封装模型,仿真计算得到电-热-力多物理场耦合下互连结构的温度分布、电流密度分布、焦耳热分布和应力分布,深入研... 随着电子封装发展趋于微型化,由倒装芯片封装的电迁移失效而引起的可靠性问题日益严重。运用ANSYS软件建立了倒装芯片三维封装模型,仿真计算得到电-热-力多物理场耦合下互连结构的温度分布、电流密度分布、焦耳热分布和应力分布,深入研究了焊球材料和铜布线结构及铜布线尺寸对电迁移失效的影响,结果表明优化后的电流密度缩小了4倍,电迁移失效寿命提高了8.4倍。 展开更多
关键词 倒装芯片封装 可靠性 电流密度 电迁移
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