悬臂梁接触式RF MEMS开关的关键工艺研究

采用厚度为2μm的Au制作成共平面波导（CPW）、聚酰亚胺作为牺牲层、PECVD法淀积Si3N4薄膜作为悬臂梁，制作成悬臂梁接触式RF MEMS开关。着重对开关的关键工艺-CPV的Au剥离工艺和悬臂梁制作工艺进行研究，讨论了工艺中存在的问题及其解决方法。通过实验获得较佳的工艺参数，并制作出驱动电压为12-20V的悬臂梁接触式RF MEMS开关。

基于数字化校园的“手机一卡通”系统的实现研究

为了让信息化在教学、管理中发挥更加积极的作用,数字化校园中"手机一卡通"系统的建设迫在眉睫。目前高校校园卡的弊端日益显现,为了更好地实现信息共享以及集中控制,提出了基于数字化校园的"手机一卡通"系统的研究,研究了"手机一卡通"系统的需求、设计以及主要功能的实现,并进一步探讨了"手机一卡通"系统实现过程中的关键技术。最后通过实验分析,表明了研究的"手机一卡通"系统的有效性。

射频MEMS开关中金属剥离工艺研究

研究用BP212正性光刻胶(浸泡氯苯)、AZP4620正性光刻胶(浸泡氯苯)、AZ5214E反转光刻胶光刻后的图形剥离金属的难易度及图形质量.用扫描电镜(SEM)观察不同光刻胶及浸泡氯苯后的侧壁图形,并分析不同侧壁图形的形成机理,找出最佳工艺参数,并应用于射频MEMS开关制作中的金属剥离.

面向企业的基于Web的远程考试系统的设计

在 Web 应用技术不断发展的今天,各种在线考试系统层出不穷,但这些系统应用于企业级的大规模、高要求的考试组织时都存在着不足之处。本文正是从远程考试技术的企业级应用为着眼点,分析了考试系统面临的特殊问题,以及解决这些问题的方法。

基于IP网络协议的小型光纤视频传输系统的实现

本文分析了传统视频传输系统的现状,针对小型视频监控网络的需求,提出了利用IP光节点机进行传输的多路视频监控系统,并对IP光节点机的原理进行了设计。