微机械加工中恒温腐蚀系统的设计研究

本文设计了一个恒温腐蚀系统,用于微机械加工制作中的腐蚀工艺.系统装备了冷凝回流与加热搅拌装置,保证了腐蚀过程中,腐蚀液浓度的稳定与均匀;特殊设计的加热设备,提高了热量的利用效率.同时,采用内藏式温度传感器和基于模糊专家系统的温度控制算法,使腐蚀系统的温度控制更加精确、灵活.与传统水浴恒温相比,不仅使用方便,而且提高了腐蚀的效率与质量.

用于半导体微机械加工中温度控制的模糊专家系统

本文设计了一个控制温度的模糊专家系统 ,用在半导体微机械加工制作中 ,控制腐蚀装置的温度 ,在负载较重、加热功率较大的条件下 ,能够有效地使其满足腐蚀工艺的温度要求 .与传统PID算法控制系统相比 ,本系统能够快速、长时间地稳定在设定的温度 .

室温工作HSGFET型O_3传感器的特性检测和分析

文中的O3传感器采用悬浮栅结构,敏感膜选用In2O3纳米材料及其掺入适量γ-Fe2O3等的混合物,与增强型和 耗尽型的FET组合成不同类型的传感器,对其吸附时间和脱附时间以及温度特性进行了对比实验,并进行了理论分析。