原子力显微镜仿真平台的设计与实现

原子力显微镜作为迄今为止应用最成功的微系统之一,在整个微纳米领域中起着举足轻重的作用。原子力显微镜的仿真为其研究提供了第一手的思路,数据与资料,是该领域中极为重要的一个研究方向。分析了原子力显微镜的工作机理和其中的复杂非线性因素,在此基础上,设计并采用Matlab/Simulink工具实现了一个包含接触和轻敲两种模式的原子力显微镜仿真系统,然后通过对样品的扫描结果验证了该仿真平台的有效性。