一种新型的Pt-LaF_3混合膜MISFET结构溶解氧传感器

基于碳糊成膜 (carbonpastefilmforming)方法 ,我们研制了一种MISFET结构的Pt LaF3 混合膜全固态溶解氧传感器 .对传感器的器件结构以及Pt LaF3 敏感膜的敏感机制和响应特性进行了分析 ,并实际测试了器件特性 .给出了在不同工作点和不同温度条件下器件的输出电压对溶解氧浓度变化的响应曲线 .实验结果表明 ,我们所提出的器件可以用于测量溶解氧含量 .