X射线光电子能谱仪的规范化管理与维护

X射线光电子能谱仪(XPS)是进行表面分析的大型精密仪器,可表征材料表面元素种类、化学态和相对含量。为了保障仪器的良好运行,提高开放共享,以及保证所测试数据的可靠性,XPS日常应该科学规范化管理。资质认定管理体系中对设备管理的要求,使得XPS的管理有章可循。此外,XPS结构复杂,又是超高真空仪器,要正常运转,需要精心维护其真空系统、冷却系统和气路系统等。