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浅析气浮静压导轨技术未来的发展趋势
1
作者
袁丽潭
《中国科技期刊数据库 工业A》
2024年第10期0049-0052,共4页
气浮静压导轨技术作为一种高精度、高速度、运动平稳、抗震隔振等一系列特点,已经在精密机械加工、半导体制造、光学仪器等领域得到广泛应用。这种技术是通过利用压缩气体作为润滑介质,实现了无磨损运动,从而大幅提高设备的定位精度和...
气浮静压导轨技术作为一种高精度、高速度、运动平稳、抗震隔振等一系列特点,已经在精密机械加工、半导体制造、光学仪器等领域得到广泛应用。这种技术是通过利用压缩气体作为润滑介质,实现了无磨损运动,从而大幅提高设备的定位精度和动态响应性能。本文将对当前气浮静压导轨技术进行概述,并探讨其未来的发展趋势,包括技术创新、应用领域的扩展以及市场前景。
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关键词
气浮静压导轨
技术发展
精密机械
半导体制造
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职称材料
题名
浅析气浮静压导轨技术未来的发展趋势
1
作者
袁丽潭
机构
南阳君礼商贸有限公司
出处
《中国科技期刊数据库 工业A》
2024年第10期0049-0052,共4页
文摘
气浮静压导轨技术作为一种高精度、高速度、运动平稳、抗震隔振等一系列特点,已经在精密机械加工、半导体制造、光学仪器等领域得到广泛应用。这种技术是通过利用压缩气体作为润滑介质,实现了无磨损运动,从而大幅提高设备的定位精度和动态响应性能。本文将对当前气浮静压导轨技术进行概述,并探讨其未来的发展趋势,包括技术创新、应用领域的扩展以及市场前景。
关键词
气浮静压导轨
技术发展
精密机械
半导体制造
分类号
TU2 [建筑科学—建筑设计及理论]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
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1
浅析气浮静压导轨技术未来的发展趋势
袁丽潭
《中国科技期刊数据库 工业A》
2024
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