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浅析气浮静压导轨技术未来的发展趋势
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作者 袁丽潭 《中国科技期刊数据库 工业A》 2024年第10期0049-0052,共4页
气浮静压导轨技术作为一种高精度、高速度、运动平稳、抗震隔振等一系列特点,已经在精密机械加工、半导体制造、光学仪器等领域得到广泛应用。这种技术是通过利用压缩气体作为润滑介质,实现了无磨损运动,从而大幅提高设备的定位精度和... 气浮静压导轨技术作为一种高精度、高速度、运动平稳、抗震隔振等一系列特点,已经在精密机械加工、半导体制造、光学仪器等领域得到广泛应用。这种技术是通过利用压缩气体作为润滑介质,实现了无磨损运动,从而大幅提高设备的定位精度和动态响应性能。本文将对当前气浮静压导轨技术进行概述,并探讨其未来的发展趋势,包括技术创新、应用领域的扩展以及市场前景。 展开更多
关键词 气浮静压导轨 技术发展 精密机械 半导体制造
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