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高质量人造石英晶体的生产(I)
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作者 张万鲲 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1995年第4期43-51,共9页
评述了高质量人造石英晶体生产的动态以及晶体中的缺陷,如籽晶罩、包裹体、位错、腐蚀隧道及杂质等。电清洗技术能有效地排除杂质和减少腐蚀隧道密度。简要介绍了人造石英晶体的应用。
关键词 石英晶体 缺陷 包裹体 位错 杂质 生产
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