355nm皮秒激光对柔性电路板盲孔加工的研究

柔性电路板微盲孔技术目前是高密度互连制作工艺流程的关键一环。采用355nm紫外激光器对双面柔性覆铜板进行钻孔加工试验,研究了紫外激光的功率、扫描速度对两种柔性覆铜板(电解铜和压延铜)盲孔的形貌及质量的影响。试验发现,激光功率和扫描速度对盲孔质量有直接影响。研究结果表明,压延铜采用激光功率为4.5W、扫描速度为50mm/s时,电解铜采用激光功率为5.5W、扫描速度为150mm/s时,所加工出的盲孔质量最优。