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双离子束沉积Zr-O薄膜的组成分析
被引量:
1
1
作者
黄宁康
胡志荃
《真空科学与技术》
EI
CAS
CSCD
1994年第4期239-242,共4页
离子束溅射沉积锆的同时以氧离子轰击形成Zr-O薄膜,经RBS及XPS分析表明薄膜由3部分组成:表面碳沾污层;Zr-O膜体;膜与基体的界面过渡层。氧离子束流密度从0.8μA/cm2增至30μA/cm2,膜体的[O]/[Zr]原子比值由略大千零升至2,最...
离子束溅射沉积锆的同时以氧离子轰击形成Zr-O薄膜,经RBS及XPS分析表明薄膜由3部分组成:表面碳沾污层;Zr-O膜体;膜与基体的界面过渡层。氧离子束流密度从0.8μA/cm2增至30μA/cm2,膜体的[O]/[Zr]原子比值由略大千零升至2,最后稳定于2,碳沾污层及界面过渡层的厚度并不随氧离子束流密度的增加而变化。还讨论了Zr的化学位移情况。
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关键词
双离子束
锆-氧薄膜
沉积
组成分析
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职称材料
ZrO_2-12wt% Y_2O_3沉积薄膜退火后处理前后的相结构研究
2
作者
黄宁康
熊兆奎
+1 位作者
汪德志
胡志荃
《真空科学与技术》
CSCD
1994年第1期16-20,共5页
在不同温度衬底上射频磁控溅射沉积ZrO2-12wt%Y2O3薄膜进行了不同方式的退火后处理。其一为1000℃大气气氛下的热退火处理,其二为高真空渗氧条件下的电子束退火处理。退火前后的相结构和显微形貌的研究表明,退火前的沉积膜相组成与...
在不同温度衬底上射频磁控溅射沉积ZrO2-12wt%Y2O3薄膜进行了不同方式的退火后处理。其一为1000℃大气气氛下的热退火处理,其二为高真空渗氧条件下的电子束退火处理。退火前后的相结构和显微形貌的研究表明,退火前的沉积膜相组成与沉积过程中衬底温度有关,退火后的沉积膜相组成与退火方式有关,其形貌特征经不同形式退火显示出明显的差别。
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关键词
薄膜
退火
相结构
氧化锆
氧化钇
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职称材料
灯丝如何绕制准确圈数
3
作者
方惠珍
刘月兴
+5 位作者
江平原
沈隆兴
张兰茂
徐志全
许士埕
陈大情
《中国照明电器》
1997年第2期17-20,共4页
灯丝如何绕制准确圈数重庆灯泡厂方惠珍刘月兴江平原南翔灯泡厂沈隆兴安阳灯泡厂张兰茂上海特灯厂徐志全厦门灯泡厂许士埕陈大情目前各灯泡厂普遍采用的多数是国产间隙绕丝机。应用这类绕丝机绕制的跳节灯丝,如何保证所绕灯丝的总圈数...
灯丝如何绕制准确圈数重庆灯泡厂方惠珍刘月兴江平原南翔灯泡厂沈隆兴安阳灯泡厂张兰茂上海特灯厂徐志全厦门灯泡厂许士埕陈大情目前各灯泡厂普遍采用的多数是国产间隙绕丝机。应用这类绕丝机绕制的跳节灯丝,如何保证所绕灯丝的总圈数TPS准确?这就是本文要讨论的问题...
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关键词
灯
灯丝
绕丝机
原文传递
题名
双离子束沉积Zr-O薄膜的组成分析
被引量:
1
1
作者
黄宁康
胡志荃
机构
四川大学原子核科学技术研究所
厦门灯泡厂
出处
《真空科学与技术》
EI
CAS
CSCD
1994年第4期239-242,共4页
基金
国家自然科学基金!19175.29
文摘
离子束溅射沉积锆的同时以氧离子轰击形成Zr-O薄膜,经RBS及XPS分析表明薄膜由3部分组成:表面碳沾污层;Zr-O膜体;膜与基体的界面过渡层。氧离子束流密度从0.8μA/cm2增至30μA/cm2,膜体的[O]/[Zr]原子比值由略大千零升至2,最后稳定于2,碳沾污层及界面过渡层的厚度并不随氧离子束流密度的增加而变化。还讨论了Zr的化学位移情况。
关键词
双离子束
锆-氧薄膜
沉积
组成分析
Keywords
Dual ion beam, Zr-O film, Deposition
分类号
O484 [理学—固体物理]
TN304.055 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
ZrO_2-12wt% Y_2O_3沉积薄膜退火后处理前后的相结构研究
2
作者
黄宁康
熊兆奎
汪德志
胡志荃
机构
四川大学原子核科学技术研究所
厦门灯泡厂
出处
《真空科学与技术》
CSCD
1994年第1期16-20,共5页
基金
国家自然科学基金
文摘
在不同温度衬底上射频磁控溅射沉积ZrO2-12wt%Y2O3薄膜进行了不同方式的退火后处理。其一为1000℃大气气氛下的热退火处理,其二为高真空渗氧条件下的电子束退火处理。退火前后的相结构和显微形貌的研究表明,退火前的沉积膜相组成与沉积过程中衬底温度有关,退火后的沉积膜相组成与退火方式有关,其形貌特征经不同形式退火显示出明显的差别。
关键词
薄膜
退火
相结构
氧化锆
氧化钇
Keywords
ZrO_2-12wt% Y_2O_3 films, Annealing, Phase structure
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
灯丝如何绕制准确圈数
3
作者
方惠珍
刘月兴
江平原
沈隆兴
张兰茂
徐志全
许士埕
陈大情
机构
重庆
灯泡厂
南翔
灯泡厂
安阳
灯泡厂
上海特灯厂
厦门灯泡厂
出处
《中国照明电器》
1997年第2期17-20,共4页
文摘
灯丝如何绕制准确圈数重庆灯泡厂方惠珍刘月兴江平原南翔灯泡厂沈隆兴安阳灯泡厂张兰茂上海特灯厂徐志全厦门灯泡厂许士埕陈大情目前各灯泡厂普遍采用的多数是国产间隙绕丝机。应用这类绕丝机绕制的跳节灯丝,如何保证所绕灯丝的总圈数TPS准确?这就是本文要讨论的问题...
关键词
灯
灯丝
绕丝机
分类号
TM923.04 [电气工程—电力电子与电力传动]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
双离子束沉积Zr-O薄膜的组成分析
黄宁康
胡志荃
《真空科学与技术》
EI
CAS
CSCD
1994
1
下载PDF
职称材料
2
ZrO_2-12wt% Y_2O_3沉积薄膜退火后处理前后的相结构研究
黄宁康
熊兆奎
汪德志
胡志荃
《真空科学与技术》
CSCD
1994
0
下载PDF
职称材料
3
灯丝如何绕制准确圈数
方惠珍
刘月兴
江平原
沈隆兴
张兰茂
徐志全
许士埕
陈大情
《中国照明电器》
1997
0
原文传递
已选择
0
条
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参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
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