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光伏法研究掺金硅特性 被引量:1
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作者 朱文章 沈顗华 刘士毅 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第2期44-48,共5页
本文采用光伏方法测量掺金硅的少子寿命,掺金浓度为10^(12)~6.62×10^(15)cm^(-3),4个数量级;根据对两类不同电阻率的N型掺金硅少子寿命系统的测量和统计计算,提出了对硅中金性质的看法。统计计算及... 本文采用光伏方法测量掺金硅的少子寿命,掺金浓度为10^(12)~6.62×10^(15)cm^(-3),4个数量级;根据对两类不同电阻率的N型掺金硅少子寿命系统的测量和统计计算,提出了对硅中金性质的看法。统计计算及简并因子和金施主与金受主的相关性,实验和计算结果都表明,高浓度金掺杂可以改变N型高阻硅的导电类型。 展开更多
关键词 掺金硅 少子寿命 光伏 深能级
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高阻硅中深能级与少子寿命的研究 被引量:1
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作者 朱文章 沈 华 《微电子学》 CAS CSCD 1994年第3期46-51,共6页
本文测量了n型高阻硅在9种不同浓度的金掺杂前后少子寿命的变化,以及两类不同电阻率的n型高阻硅在7种不同辐照剂量的1MeV高能电子辐照前后少子寿命的变化;测量了金掺杂和高能电子辐照在硅中引入的主要深能级;研究对比金掺杂... 本文测量了n型高阻硅在9种不同浓度的金掺杂前后少子寿命的变化,以及两类不同电阻率的n型高阻硅在7种不同辐照剂量的1MeV高能电子辐照前后少子寿命的变化;测量了金掺杂和高能电子辐照在硅中引入的主要深能级;研究对比金掺杂和高能电子辐照对硅单晶性能的影响及其在提高电子器件开关速度方面的应用。 展开更多
关键词 深能级 少子寿命 高阻硅
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SnO_2/Si的光伏特性 被引量:3
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作者 沈 华 张万中 +1 位作者 朱文章 蔡玉霜 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 1995年第2期177-181,共5页
采用CVD方法在硅单晶上制备SnO2薄膜,对不同硅衬底及在不同温度下淀积SnO2制得SnO2/Si进行光电压谱的测量,得出最佳的制备温度;采用类金属半导体接触模型,推导出有关计算公式,计算得出其介面复合速度和异质结势... 采用CVD方法在硅单晶上制备SnO2薄膜,对不同硅衬底及在不同温度下淀积SnO2制得SnO2/Si进行光电压谱的测量,得出最佳的制备温度;采用类金属半导体接触模型,推导出有关计算公式,计算得出其介面复合速度和异质结势垒宽度等参数。 展开更多
关键词 半导体材料 薄膜 二氧化硅 CVD 光伏特性
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