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聚变强磁场下真空测量电离规结构及阴极灯丝优化研究
被引量:
3
1
作者
陈长琦
刘腾飞
+3 位作者
朱武
汪根生
吴振伟
郭后杨
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第11期1042-1047,共6页
基于强磁场环境中托卡马克装置偏滤器中性粒子压力快速测量,使用普通热阴极电离计,难以实现托卡马克偏滤器实验运行的原位精确测量。文章针对普通热阴极电离计的结构特点,首先探究了强磁场下,阴极发射电子的运动轨迹受磁场约束对规管灵...
基于强磁场环境中托卡马克装置偏滤器中性粒子压力快速测量,使用普通热阴极电离计,难以实现托卡马克偏滤器实验运行的原位精确测量。文章针对普通热阴极电离计的结构特点,首先探究了强磁场下,阴极发射电子的运动轨迹受磁场约束对规管灵敏度的影响。应用有限元方法,计算分析了阴极灯丝受电动力以及热应力和电动力耦合作用下发生形变的规律,得到阴极灯丝应力、总变形量和轴向变形量数据以及阴极灯丝的热力性能不受加热电流变化影响的结论。提出可在强磁场下稳定工作的规管结构设计方案,得到阴极灯丝优化结果,为聚变装置强磁场下真空测量快规的优化设计提供参考。
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关键词
强磁场
灵敏度
电动力
形变
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职称材料
铜基NiCr系太阳光吸收薄膜制备及性能分析
被引量:
3
2
作者
陈长琦
裘一冰
王国栋
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第8期669-673,共5页
基于等效媒质理论设计了NiCr四层渐变膜系。以4∶1的NiCr合金靶材,氧气和氮气为反应气体,氩气为工作气体,用磁控反应溅射法制备蓝色NiCr系太阳能光谱选择性吸收薄膜。测试分析薄膜成分、微观结构、厚度、吸收比和发射率对薄膜性能的影...
基于等效媒质理论设计了NiCr四层渐变膜系。以4∶1的NiCr合金靶材,氧气和氮气为反应气体,氩气为工作气体,用磁控反应溅射法制备蓝色NiCr系太阳能光谱选择性吸收薄膜。测试分析薄膜成分、微观结构、厚度、吸收比和发射率对薄膜性能的影响。测试结果表明两层吸收膜的吸收比大于单层吸收膜;单层吸收膜的吸收比随填充因子的增大而增大;当单层吸收膜的填充因子在两层吸收膜的填充因子之间时,两层吸收膜的发射率小于单层吸收膜;两层吸收膜的吸收比随减反射层厚度的增大先增大后减小,发射率则一直增大。为多层铜基NiCr系阳光吸收膜磁控溅射沉积制备工艺提供了理论依据。
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关键词
磁控反应溅射
吸收比
发射率
溅射工艺
填充因子
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职称材料
辅助PECVD的磁场模拟计算与分析
3
作者
陈长琦
赵晶晶
+1 位作者
汪洪波
王君
《真空》
CAS
北大核心
2010年第2期27-30,共4页
本文介绍了磁场辅助PECVD工作原理,磁场对沉积薄膜的影响。通过对PECVD中磁场对带电粒子的约束作用、等离子体能量转换频率分析,建立辅助磁场模型并进行数值计算。在现有辅助磁场基础上改进设计适用于PECVD设备的螺线管磁场系统,得到不...
本文介绍了磁场辅助PECVD工作原理,磁场对沉积薄膜的影响。通过对PECVD中磁场对带电粒子的约束作用、等离子体能量转换频率分析,建立辅助磁场模型并进行数值计算。在现有辅助磁场基础上改进设计适用于PECVD设备的螺线管磁场系统,得到不同物理条件下磁场分布规律。进而确定螺线管结构参数得到均匀分布的磁场,为辅助PECVD磁场的应用提供了一种方法。
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关键词
PECVD
等离子体
辅助磁场
螺线管
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职称材料
题名
聚变强磁场下真空测量电离规结构及阴极灯丝优化研究
被引量:
3
1
作者
陈长琦
刘腾飞
朱武
汪根生
吴振伟
郭后杨
机构
合肥工业大学机械与汽车工程学院真空科学技术与装备研究所
中国科
学院
等离子体物理
研究所
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第11期1042-1047,共6页
基金
国家ITER配套973计划(2010GB104000)
先进偏滤器及边界等离子体诊断技术(2010GB104004)--ASDEX压力快规关键技术研究
文摘
基于强磁场环境中托卡马克装置偏滤器中性粒子压力快速测量,使用普通热阴极电离计,难以实现托卡马克偏滤器实验运行的原位精确测量。文章针对普通热阴极电离计的结构特点,首先探究了强磁场下,阴极发射电子的运动轨迹受磁场约束对规管灵敏度的影响。应用有限元方法,计算分析了阴极灯丝受电动力以及热应力和电动力耦合作用下发生形变的规律,得到阴极灯丝应力、总变形量和轴向变形量数据以及阴极灯丝的热力性能不受加热电流变化影响的结论。提出可在强磁场下稳定工作的规管结构设计方案,得到阴极灯丝优化结果,为聚变装置强磁场下真空测量快规的优化设计提供参考。
关键词
强磁场
灵敏度
电动力
形变
Keywords
Strong magnetic field
Sensitivity
Electric power
Deformation
分类号
TB77 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
题名
铜基NiCr系太阳光吸收薄膜制备及性能分析
被引量:
3
2
作者
陈长琦
裘一冰
王国栋
机构
合肥工业大学机械与汽车工程学院真空科学技术与装备研究所
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第8期669-673,共5页
文摘
基于等效媒质理论设计了NiCr四层渐变膜系。以4∶1的NiCr合金靶材,氧气和氮气为反应气体,氩气为工作气体,用磁控反应溅射法制备蓝色NiCr系太阳能光谱选择性吸收薄膜。测试分析薄膜成分、微观结构、厚度、吸收比和发射率对薄膜性能的影响。测试结果表明两层吸收膜的吸收比大于单层吸收膜;单层吸收膜的吸收比随填充因子的增大而增大;当单层吸收膜的填充因子在两层吸收膜的填充因子之间时,两层吸收膜的发射率小于单层吸收膜;两层吸收膜的吸收比随减反射层厚度的增大先增大后减小,发射率则一直增大。为多层铜基NiCr系阳光吸收膜磁控溅射沉积制备工艺提供了理论依据。
关键词
磁控反应溅射
吸收比
发射率
溅射工艺
填充因子
Keywords
Reactive magnetron sputtering
Absorption rate
Emission rate
Sputtering technology
Fill factor
分类号
O484.4 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
辅助PECVD的磁场模拟计算与分析
3
作者
陈长琦
赵晶晶
汪洪波
王君
机构
合肥工业大学机械与汽车工程学院真空科学技术与装备研究所
出处
《真空》
CAS
北大核心
2010年第2期27-30,共4页
文摘
本文介绍了磁场辅助PECVD工作原理,磁场对沉积薄膜的影响。通过对PECVD中磁场对带电粒子的约束作用、等离子体能量转换频率分析,建立辅助磁场模型并进行数值计算。在现有辅助磁场基础上改进设计适用于PECVD设备的螺线管磁场系统,得到不同物理条件下磁场分布规律。进而确定螺线管结构参数得到均匀分布的磁场,为辅助PECVD磁场的应用提供了一种方法。
关键词
PECVD
等离子体
辅助磁场
螺线管
Keywords
PECVD
plasma
magnetic-field-aided
solenoid
分类号
O532.11 [理学—等离子体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
聚变强磁场下真空测量电离规结构及阴极灯丝优化研究
陈长琦
刘腾飞
朱武
汪根生
吴振伟
郭后杨
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
3
下载PDF
职称材料
2
铜基NiCr系太阳光吸收薄膜制备及性能分析
陈长琦
裘一冰
王国栋
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
3
下载PDF
职称材料
3
辅助PECVD的磁场模拟计算与分析
陈长琦
赵晶晶
汪洪波
王君
《真空》
CAS
北大核心
2010
0
下载PDF
职称材料
已选择
0
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