组合镀膜法制备集成滤光片列阵

为实现集成滤光片列阵在单片衬底上的高效制备,提出组合镀膜法,通过磁控反应溅射,以N b2O5和S iO2为介质材料,仅通过8次镀膜就成功制备出了集成64通道的滤光片面阵。滤光片面阵的总体尺寸只有12mm×12mm,各个滤光片通道基本呈线性分布在720.5nm^877.2nm之间,带宽在1.82nm^3.92nm之间。结果表明,组合镀膜法是一种高效的集成滤光片列阵制备方法。