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Pt薄膜平面热线型NH_3敏元件 被引量：2
1
作者 王哲 全宝富 +4 位作者 王剑刚 孙良彦 李云鹏 孙承松 周立军 《传感器世界》 1997年第9期17-20,共4页
本文介绍了铂薄膜平面热线型氨传感器.它是利用高频溅射在硅片上制作铂膜电阻,然后涂以气敏涂料,600℃下烧结90分钟而制成的NH_3敏元件.同时讨论了几种元素对元件灵敏度及选择性的影响,发现以SnO_2为基体材料加入少量的Au对氨气有较高... 本文介绍了铂薄膜平面热线型氨传感器.它是利用高频溅射在硅片上制作铂膜电阻,然后涂以气敏涂料,600℃下烧结90分钟而制成的NH_3敏元件.同时讨论了几种元素对元件灵敏度及选择性的影响,发现以SnO_2为基体材料加入少量的Au对氨气有较高的灵敏度,以WO_3为主体材料加少量钒酸盐的保护层,对元件的选择性有所改善. 展开更多
关键词 热线型 传感器 铂薄膜 氨敏元件 试验
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