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题名一种新颖的MEMS光开关测量平台的设计与实现
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作者
刘小冬
刘睿
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机构
吉林大学电子科学与工程学院微电子学专业
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出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第11期16-18,23,共4页
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文摘
随着光电器件的广泛应用,微机械光开关成为核心光交换器件的主流。在研发过程中,其器件检测手段成为人们所关注的话题。本文介绍了一种新颖的测量平台,通过高幅值利用单片机控制脉冲频率的方法来选择器件。与当前同类方法相比,具有精度高、可靠性强、成本低、易操作等特点,具有广阔的使用前景。
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关键词
MEMS
光开关
单片机
微机械
阈值电压
方波信号源
测量平台
工作原理
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Keywords
microcontroller
measuring
micromechanical
optical switches
threshold-voltage
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分类号
TN256
[电子电信—物理电子学]
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题名一种新颖的MEMS光开关测量平台的设计与实现
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作者
刘小冬
刘睿
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机构
吉林大学电子科学与工程学院微电子学专业
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出处
《电子与封装》
2006年第6期21-24,共4页
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文摘
近年来,随着光电器件的广泛应用,微机械光开关(MEMS)成为核心光交换器件的主流。在研发过程中,其器件检测手段成为人们所关注的话题。文章介绍了一种新颖的测量平台,通过高幅值利用单片机控制脉冲频率的方法来选择器件。与当前同类方法相比,具有精度高、可靠性强、成本低、易操作等特点,具有广阔的使用前景。
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关键词
单片机
测量
微机械
光开关
阙值电压
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Keywords
Microcontroller
Measuring
Micromechanical
Optical switches
Threshold-voltage
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分类号
TN402
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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