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一种新颖的MEMS光开关测量平台的设计与实现
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作者 刘小冬 刘睿 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2003年第11期16-18,23,共4页
随着光电器件的广泛应用,微机械光开关成为核心光交换器件的主流。在研发过程中,其器件检测手段成为人们所关注的话题。本文介绍了一种新颖的测量平台,通过高幅值利用单片机控制脉冲频率的方法来选择器件。与当前同类方法相比,具有精度... 随着光电器件的广泛应用,微机械光开关成为核心光交换器件的主流。在研发过程中,其器件检测手段成为人们所关注的话题。本文介绍了一种新颖的测量平台,通过高幅值利用单片机控制脉冲频率的方法来选择器件。与当前同类方法相比,具有精度高、可靠性强、成本低、易操作等特点,具有广阔的使用前景。 展开更多
关键词 MEMS 光开关 单片机 微机械 阈值电压 方波信号源 测量平台 工作原理
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一种新颖的MEMS光开关测量平台的设计与实现
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作者 刘小冬 刘睿 《电子与封装》 2006年第6期21-24,共4页
近年来,随着光电器件的广泛应用,微机械光开关(MEMS)成为核心光交换器件的主流。在研发过程中,其器件检测手段成为人们所关注的话题。文章介绍了一种新颖的测量平台,通过高幅值利用单片机控制脉冲频率的方法来选择器件。与当前同类方法... 近年来,随着光电器件的广泛应用,微机械光开关(MEMS)成为核心光交换器件的主流。在研发过程中,其器件检测手段成为人们所关注的话题。文章介绍了一种新颖的测量平台,通过高幅值利用单片机控制脉冲频率的方法来选择器件。与当前同类方法相比,具有精度高、可靠性强、成本低、易操作等特点,具有广阔的使用前景。 展开更多
关键词 单片机 测量 微机械 光开关 阙值电压
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