化学增幅型光致抗蚀剂用光产酸剂

综述了用于化学增幅型光致抗蚀剂的光产酸剂及机理,对于几种常用的离子型和非离子型光产酸剂分别进行了阐述,并对其特性和应用做了简单介绍.

分子玻璃光致抗蚀剂研究进展

随着半导体芯片集成度的快速提高,光刻技术的分辨率正由90、65和45 nm迈向更先进的32 nm或以下.而分子玻璃体抗蚀剂可能是下一代光刻技术的最好选择.本文阐述了分子玻璃光致抗蚀剂的设计思想,并介绍了几种性能良好的分子玻璃光致抗蚀剂.

浅谈义务教育阶段学生数学素养的培养

数学课堂教学中充分考虑学生素养培养,对提高课堂教学效果,培养学生思维能力,具有十分重要的意义。作为教师有义务和责任去培养学生的数学素质,培养学生学习能力和意识,使学生主动获取所需的数学知识,学会学习。

浅谈义务教育阶段语文口语表达能力的训练

切实加强学生语文口语的训练,培养学生的语音表达能力,尤为重要。下面,根据自身的教学实践经验,针对语文教学学生口语表达能力的训练浅谈一些体会。