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在大气中利用燃烧火焰合成金刚石 被引量：1
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作者 广濑洋一 天沼修二 王景义 《微细加工技术》 1990年第2期65-69,共5页
气相合成金刚石的方法,可举出有热灯丝CVD法、微波等离子体CVD法、电子轰击CVD法(EACVD法)、直流等离子体CVD法、弧光放电等离子体CVD法、等离子体喷射CVD法等。 这些合成法一般是用等离子体分解碳素源,并在还原性气氛中,生成原子态氢... 气相合成金刚石的方法,可举出有热灯丝CVD法、微波等离子体CVD法、电子轰击CVD法(EACVD法)、直流等离子体CVD法、弧光放电等离子体CVD法、等离子体喷射CVD法等。 这些合成法一般是用等离子体分解碳素源,并在还原性气氛中,生成原子态氢来合成金刚石的。原子态氢使得基团生成和金刚石的结合状态保持单键,并且对生长中产生的石墨、 展开更多
关键词 金刚石 合成 燃烧火焰 等离子体
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