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原子层沉积及其在透明导电薄膜领域的研究与应用
1
作者
段超
李坤
+4 位作者
高岗
杨磊
徐梁格
浩钢
朱嘉琦
《人工晶体学报》
CAS
北大核心
2023年第6期1052-1066,共15页
集成电路行业器件尺寸不断缩小,表面更复杂,对镀膜提出了更高的要求,而原子层沉积因其保形性和自限制生长的优势而获得了广泛的关注和研究。本文在简要介绍一些常用的镀膜方式基础上,对原子层沉积原理及自限制生长进行了重点介绍。以氧...
集成电路行业器件尺寸不断缩小,表面更复杂,对镀膜提出了更高的要求,而原子层沉积因其保形性和自限制生长的优势而获得了广泛的关注和研究。本文在简要介绍一些常用的镀膜方式基础上,对原子层沉积原理及自限制生长进行了重点介绍。以氧化铟为代表,通过对比分析说明原子层沉积制备薄膜在形貌、成分等方面的优越性,对不同方式制备的常见透明导电薄膜的光电性能进行了总结。详细讨论了原子层沉积的应用范围,包括在大尺寸基底,如大平面和大曲率基底上可以制备高质量薄膜,在小尺寸基底,如粉体、沟槽、微纳结构上仍然有着超高的保形性。最后对原子层沉积制备薄膜的优势进行了总结,对其独特的发展潜力进行了展望。
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关键词
原子层沉积
透明导电薄膜
镀膜方式
形貌
成分
光电性能
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职称材料
电-声喇叭振动模型的建立与频率修正
被引量:
6
2
作者
王世忠
荣吉利
+1 位作者
邓缨
屠良尧
《振动与冲击》
EI
CSCD
1998年第2期9-13,共5页
借助于动态分析仪SD375,用瞬态测试的锤击法和统计回归分析法,建立汽车电声喇叭的振动模型,并给出实用的统计关系式,使喇叭的工作频率得到修正。
关键词
电声喇叭
振动模型
频率修正
汽车
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职称材料
热挤压对Al_2O_3p/6061铝基复合材料拉伸性能及组织的影响
被引量:
1
3
作者
郭永良
刘兴秋
+1 位作者
宁江利
蒋大鸣
《机械工程材料》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第3期65-67,共3页
采用挤压铸造法制备了体积分数为30%的Al_2O_3p/6061铝基复合材料,进行了挤压比为10:1的热挤压,对铸态和挤压态复合材料进行了常温拉伸试验,用光学显微镜和透射电镜对变形前后的显微组织进行了观察。结果表明:热挤压改善了材料的组织,...
采用挤压铸造法制备了体积分数为30%的Al_2O_3p/6061铝基复合材料,进行了挤压比为10:1的热挤压,对铸态和挤压态复合材料进行了常温拉伸试验,用光学显微镜和透射电镜对变形前后的显微组织进行了观察。结果表明:热挤压改善了材料的组织,提高了材料的力学性能。
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关键词
Al2O3p/6061复合材料
热挤压
力学性能
微观组织
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职称材料
题名
原子层沉积及其在透明导电薄膜领域的研究与应用
1
作者
段超
李坤
高岗
杨磊
徐梁格
浩钢
朱嘉琦
机构
哈尔滨工业大学
特种环境复合材料技术国家级重点实验室
哈尔滨工业大学分析与测试中心
哈尔滨工业大学
郑州研究院
哈尔滨工业大学
微系统与微结构制造教育部重点实验室
出处
《人工晶体学报》
CAS
北大核心
2023年第6期1052-1066,共15页
基金
国家自然科学基金重点项目(52032004)。
文摘
集成电路行业器件尺寸不断缩小,表面更复杂,对镀膜提出了更高的要求,而原子层沉积因其保形性和自限制生长的优势而获得了广泛的关注和研究。本文在简要介绍一些常用的镀膜方式基础上,对原子层沉积原理及自限制生长进行了重点介绍。以氧化铟为代表,通过对比分析说明原子层沉积制备薄膜在形貌、成分等方面的优越性,对不同方式制备的常见透明导电薄膜的光电性能进行了总结。详细讨论了原子层沉积的应用范围,包括在大尺寸基底,如大平面和大曲率基底上可以制备高质量薄膜,在小尺寸基底,如粉体、沟槽、微纳结构上仍然有着超高的保形性。最后对原子层沉积制备薄膜的优势进行了总结,对其独特的发展潜力进行了展望。
关键词
原子层沉积
透明导电薄膜
镀膜方式
形貌
成分
光电性能
Keywords
atomic layer deposition
transparent conductive film
coating method
morphology
composition
optoelectronic property
分类号
TB43 [一般工业技术]
O47 [理学—半导体物理]
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职称材料
题名
电-声喇叭振动模型的建立与频率修正
被引量:
6
2
作者
王世忠
荣吉利
邓缨
屠良尧
机构
哈尔滨工业大学
航天工程与力学系
哈尔滨工业大学分析与测试中心
出处
《振动与冲击》
EI
CSCD
1998年第2期9-13,共5页
文摘
借助于动态分析仪SD375,用瞬态测试的锤击法和统计回归分析法,建立汽车电声喇叭的振动模型,并给出实用的统计关系式,使喇叭的工作频率得到修正。
关键词
电声喇叭
振动模型
频率修正
汽车
Keywords
electrophonic loundspeaker, vibration model, frequency modification
分类号
TN643 [电子电信—电路与系统]
U463.653 [机械工程—车辆工程]
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职称材料
题名
热挤压对Al_2O_3p/6061铝基复合材料拉伸性能及组织的影响
被引量:
1
3
作者
郭永良
刘兴秋
宁江利
蒋大鸣
机构
哈尔滨工业大学分析与测试中心
出处
《机械工程材料》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第3期65-67,共3页
文摘
采用挤压铸造法制备了体积分数为30%的Al_2O_3p/6061铝基复合材料,进行了挤压比为10:1的热挤压,对铸态和挤压态复合材料进行了常温拉伸试验,用光学显微镜和透射电镜对变形前后的显微组织进行了观察。结果表明:热挤压改善了材料的组织,提高了材料的力学性能。
关键词
Al2O3p/6061复合材料
热挤压
力学性能
微观组织
Keywords
Al2O3p/6061 composite
hot extrusion
mechanical properties
microstructure
分类号
TB331 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
原子层沉积及其在透明导电薄膜领域的研究与应用
段超
李坤
高岗
杨磊
徐梁格
浩钢
朱嘉琦
《人工晶体学报》
CAS
北大核心
2023
0
下载PDF
职称材料
2
电-声喇叭振动模型的建立与频率修正
王世忠
荣吉利
邓缨
屠良尧
《振动与冲击》
EI
CSCD
1998
6
下载PDF
职称材料
3
热挤压对Al_2O_3p/6061铝基复合材料拉伸性能及组织的影响
郭永良
刘兴秋
宁江利
蒋大鸣
《机械工程材料》
CAS
CSCD
北大核心
2007
1
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
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参考文献
引证文献
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