电源参数对可控区域空心阴极放电的影响

针对大面积工件表面沉积DLC薄膜,开发了可控区域空心阴极放电沉积DLC薄膜系统,利用匹配网络将脉冲电源和偏压电源解耦,研究氩气气氛下脉冲电压、脉冲频率、脉冲宽度和偏压对空心阴极放电的影响,结果表明,较高的脉冲电压和脉冲宽度对空心阴极放电电流有促进作用,脉冲频率的改变只影响脉冲间歇的残余等离子体的数量。当偏压超过-100 V空心阴极放电增强。