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强流脉冲电子束辐照TiN薄膜表面形貌与性能研究
1
作者
姜巍
王浪平
王小峰
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第5期573-577,共5页
利用强流脉冲电子束对Ti N薄膜进行辐照处理。辐照加速电压25 k V,辐照能量密度5 J/cm2,脉冲次数10,20次。使用扫描电镜观察强流脉冲电子束辐照后薄膜表面与截面形貌,原子力显微镜测试薄膜表面粗糙度,X射线衍射测试表面物相组织,划痕仪...
利用强流脉冲电子束对Ti N薄膜进行辐照处理。辐照加速电压25 k V,辐照能量密度5 J/cm2,脉冲次数10,20次。使用扫描电镜观察强流脉冲电子束辐照后薄膜表面与截面形貌,原子力显微镜测试薄膜表面粗糙度,X射线衍射测试表面物相组织,划痕仪、纳米硬度计和摩擦试验机测试薄膜机械性能。研究表明:强流脉冲电子束辐照后,Ti N薄膜表面发生了重熔,薄膜表面粗糙度增加,薄膜的物相组织、纳米硬度和摩擦系数没有发生明显变化。强流脉冲电子束辐照可以增加薄膜与基体的结合力,从7.4增加到15 N。
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关键词
强流脉冲电子束
TIN薄膜
表面粗糙度
纳米硬度
结合强度
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职称材料
题名
强流脉冲电子束辐照TiN薄膜表面形貌与性能研究
1
作者
姜巍
王浪平
王小峰
机构
哈尔滨工业大学材料科学与工程学院哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第5期573-577,共5页
文摘
利用强流脉冲电子束对Ti N薄膜进行辐照处理。辐照加速电压25 k V,辐照能量密度5 J/cm2,脉冲次数10,20次。使用扫描电镜观察强流脉冲电子束辐照后薄膜表面与截面形貌,原子力显微镜测试薄膜表面粗糙度,X射线衍射测试表面物相组织,划痕仪、纳米硬度计和摩擦试验机测试薄膜机械性能。研究表明:强流脉冲电子束辐照后,Ti N薄膜表面发生了重熔,薄膜表面粗糙度增加,薄膜的物相组织、纳米硬度和摩擦系数没有发生明显变化。强流脉冲电子束辐照可以增加薄膜与基体的结合力,从7.4增加到15 N。
关键词
强流脉冲电子束
TIN薄膜
表面粗糙度
纳米硬度
结合强度
Keywords
High current pulsed electron beam
TiN film
Surface roughness
Nanohardness
Adhesive strength
分类号
O484 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
强流脉冲电子束辐照TiN薄膜表面形貌与性能研究
姜巍
王浪平
王小峰
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
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