强流脉冲电子束辐照TiN薄膜表面形貌与性能研究

利用强流脉冲电子束对Ti N薄膜进行辐照处理。辐照加速电压25 k V,辐照能量密度5 J/cm2,脉冲次数10,20次。使用扫描电镜观察强流脉冲电子束辐照后薄膜表面与截面形貌,原子力显微镜测试薄膜表面粗糙度,X射线衍射测试表面物相组织,划痕仪、纳米硬度计和摩擦试验机测试薄膜机械性能。研究表明:强流脉冲电子束辐照后,Ti N薄膜表面发生了重熔,薄膜表面粗糙度增加,薄膜的物相组织、纳米硬度和摩擦系数没有发生明显变化。强流脉冲电子束辐照可以增加薄膜与基体的结合力,从7.4增加到15 N。