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电子束曝光机的加工精度
被引量:
1
1
作者
李士章
冯友彬
余越
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996年第S1期239-239,共1页
电子束曝光机的加工精度李士章,冯友彬,余越(哈尔滨工业大学电子束技术研究室)0引言电子束曝光机是当代微细和超微细加工的核心工艺装备。早在七十年代美国IBM公司就用SA直径的电子束加工出80A线宽、100人厚的金属结构...
电子束曝光机的加工精度李士章,冯友彬,余越(哈尔滨工业大学电子束技术研究室)0引言电子束曝光机是当代微细和超微细加工的核心工艺装备。早在七十年代美国IBM公司就用SA直径的电子束加工出80A线宽、100人厚的金属结构,其本身就是超导量子干涉器件。因此...
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关键词
电子束曝光机
加工精度
套准精度
超导量子干涉器件
电子束技术
误差因素
哈尔滨工业大学
误差的影响
电子光学柱
超微细加工
下载PDF
职称材料
电子束曝光机的误差与数据处理
2
作者
李士章
冯友彬
余越
《微细加工技术》
1997年第3期1-9,共9页
本文综合分析了影响电子束曝光机加工精度的各种误差的来源与类型,误差的影响与估算.以及误差的综合与数据处理。
关键词
电子束曝光机
加工精度
误差
数据处理
下载PDF
职称材料
题名
电子束曝光机的加工精度
被引量:
1
1
作者
李士章
冯友彬
余越
机构
哈尔滨工业大学电子束技术研究室
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996年第S1期239-239,共1页
文摘
电子束曝光机的加工精度李士章,冯友彬,余越(哈尔滨工业大学电子束技术研究室)0引言电子束曝光机是当代微细和超微细加工的核心工艺装备。早在七十年代美国IBM公司就用SA直径的电子束加工出80A线宽、100人厚的金属结构,其本身就是超导量子干涉器件。因此...
关键词
电子束曝光机
加工精度
套准精度
超导量子干涉器件
电子束技术
误差因素
哈尔滨工业大学
误差的影响
电子光学柱
超微细加工
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
电子束曝光机的误差与数据处理
2
作者
李士章
冯友彬
余越
机构
哈尔滨工业大学电子束技术研究室
出处
《微细加工技术》
1997年第3期1-9,共9页
文摘
本文综合分析了影响电子束曝光机加工精度的各种误差的来源与类型,误差的影响与估算.以及误差的综合与数据处理。
关键词
电子束曝光机
加工精度
误差
数据处理
Keywords
Electron beam exposure machine
fabricating precision
errors data processing
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
电子束曝光机的加工精度
李士章
冯友彬
余越
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996
1
下载PDF
职称材料
2
电子束曝光机的误差与数据处理
李士章
冯友彬
余越
《微细加工技术》
1997
0
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