期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到1篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
基于MEMS工艺的声表面波化学毒剂传感器 被引量：2
1
作者 施云波 张洪泉 +1 位作者 董新平 郭建英 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2005年第9期43-45,共3页
阐述了声表面波(SAW)传感器的结构与工作原理;介绍了采用MEMS技术加工传感器芯片和敏感膜固定化的关键工艺;给出并分析了传感器的主要特性。试验和测试结果表明:传感器具有灵敏度高、响应速度快、抗汽油干扰等特点。
关键词 化学毒剂 声表面波 传感器芯片 敏感膜固定化
下载PDF
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 下一页 到第 页
使用帮助 返回顶部