基于MEMS技术微双桥催化LPG传感器研究

提出了基于MEMS技术，将电化学生长的Al2O3膜加工成微双桥结构，并成为Al2O3-Pd-Th0-SiO复合催化剂的载体，实现催化元件和补偿元件的单片集成，制作出LPG传感器．单桥结构尺寸为1mm×1．2mm，厚度为30-35μm，利用铂薄膜制做加热器，并经反溅刻蚀和激光修调，形成标称阻值（0℃）为10Ω的热敏感电阻．传感器性能测试结果表明：微双桥催化LPG传感器具有输出信号与气体浓度呈线性特性，可实现体积分数（500～10000）×10^-6LPG检测，同时，测试了温度范围为10-50℃和湿度范围为10-90％RH的传感器温湿度特性，结果证明：微双桥催化LPG传感器输出最大偏差为1．2mV，相当于体积分数600×10^-6的LPG浓度．

热燃烧式瓦斯传感器催化剂失活机理研究

热燃烧式催化瓦斯传感器是煤矿矿井瓦斯监控系统的核心部件,用于检测瓦斯体积分数,实现风电闭锁功能。由于矿井环境条件恶劣,常常使瓦斯传感器表现出稳定性能差,校准期短等缺点,一直是困扰热燃烧式催化瓦斯传感器应用的难题。通过研究热燃烧式催化瓦斯传感器的失活模式及响应分析,重点探讨了铂催化剂失活的3种机理:烧结、结焦、中毒,建立了催化剂失活速率方程,提出了添加Pt-Pd复合催化剂的方法来改善催化剂失活,改进后,传感器的稳定性得到了明显提高。