8MW单极性脉冲磁控溅射电源的设计

设计了一种8 MW单极性脉冲磁控溅射电源,详细介绍了脉冲发生电路的拓扑结构及IGBT相关的关键技术。通过对所设计的8 MW单极性脉冲磁控溅射电源在Matlab中搭建Simulink模型进行数值仿真分析,然后在理论分析的基础上简化电路结构并搭建实验样机,在模拟负载条件下进行实验分析,得到了IGBT开关组均流、均压波形以及8 MW峰值功率输出波形,通过比较,实验结果与仿真数值分析波形基本一致。