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题名工艺参数对磁控溅射金属化薄膜性能的影响
被引量:18
- 1
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作者
马元远
王德苗
金浩
郑建潮
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机构
浙江大学信电系
嘉兴市能源利用监测中心
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出处
《真空》
CAS
北大核心
2008年第4期70-74,共5页
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基金
国家自然科学基金(No.50172042)
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文摘
溅射金属化技术不仅环保,而且工艺过程简单,金属化质量高,将成为未来金属化工艺的主要发展方向。本文采用真空溅射技术在镍锌铁氧体表面制备了Cr(150nm)/Ni-Cu(460nm)/Ag(200nm)结构的金属化复合薄膜,从理论和实验上研究分析了溅射工艺参数对于薄膜性能的影响。研究表明:当溅射功率密度为20W·cm-2,靶片间距8cm,溅射气压0.5Pa时,结合性能和高温可焊接性能最好,可达6.19MPa和100%,成膜速率也比较理想。
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关键词
铁氧体
磁控溅射
金属化
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Keywords
ferrite
magnetron sputtering
metallization
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分类号
TQ153.1
[化学工程—电化学工业]
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题名变面积孔板流量计在蒸汽计量中的应用
被引量:2
- 2
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作者
于阳
纪纲
徐华东
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机构
嘉兴市能源利用监测中心
上海同欣自动化仪表有限公司
斯派莎克工程(中国)有限公司
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出处
《上海计量测试》
2008年第2期19-22,共4页
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文摘
变面积孔板是一种新型差压式流量计,范围度宽,可测范围100:1,测量准确度高,精确度±1%,尤其适合蒸汽计量使用。
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关键词
变面积孔板流量计
蒸汽
流量测量
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Keywords
GILFLO flow meter
steam
flow measuring
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分类号
TH814
[机械工程—精密仪器及机械]
TH814.5
[机械工程—精密仪器及机械]
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题名GILFLO流量计原理及其在蒸汽计量中的应用
被引量:1
- 3
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作者
于阳
纪纲
徐华东
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机构
嘉兴市能源利用监测中心
上海同欣自动化仪表有限公司
斯派莎克工程(中国)有限公司
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出处
《节能与环保》
2008年第1期39-41,共3页
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文摘
介绍GILFLO流量计工作原理,特点、功能,实际应用情况。
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关键词
GILFLO
线形孔板
流量计
蒸汽计量
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分类号
TH814
[机械工程—精密仪器及机械]
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题名提高印染设备科技含量,促进印染企业节能减排
被引量:5
- 4
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作者
郑建潮
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机构
嘉兴市能源利用监测中心
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出处
《现代丝绸科学与技术》
2011年第2期57-59,共3页
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文摘
从单一设备的技术进步、数字化技术和高新技术的应用等方面介绍了近年来印染设备的技术进步以及对印染企业节能减排的促进作用,并对今后的发展趋势进行了评述。
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关键词
印染
节能减排
设备
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分类号
F426.81
[经济管理—产业经济]
F205
[经济管理—国民经济]
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题名天然气直燃热风技术在定型机中的应用
被引量:3
- 5
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作者
郑建潮
王运良
汪记明
周良斌
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机构
嘉兴市能源利用监测中心
嘉兴嘉洁环保科技咨询有限公司
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出处
《中小企业管理与科技》
2011年第16期233-234,共2页
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文摘
本文对天然气直燃热风技术在定型机中的应用做了简要分析。
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关键词
燃烧机
定型机加热
节能
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分类号
TS756
[轻工技术与工程—制浆造纸工程]
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