IBAD MoS_2-Ta膜的电子显微与能谱分析

用透射电子显微镜与能谱技术对离子束辅助沉积的ＭｏＳｏ２－Ｔａ膜的形态、结构、组成以及元素的化学态等进行了观察和分析。发现膜在沉积过程中已产生部分晶化，膜体出现衬度鲜明的白色“团簇”点缀的两相特殊形态。ＴＥＭ与ＸＰＳ分析确定白色“团簇”属析出的第二相ＴａＳ２。两区都具有（００２）、（１００）和（１１０）取向，面间距与晶格常数都比ＭｏＳ２单晶增大，“白区”的参数又比膜基体略大。去离子水浸泡和高温氧化实验表明，ＭｏＳ２－Ｔａ膜的耐水解、抗氧化能力远比同一条件沉积的ＭｏＳ２膜优越。