离子束混合沉积C-SiC涂层的阻氢特性研究

对离子束混合技术制备的C SiC阻氢涂层进行了SEM形貌观察 ,比较了在相同组分的C SiC靶材下采用不同的Ar+ 离子轰击剂量 ,在相同的Ar+ 离子轰击剂量下采用不同组分的C SiC靶材所制备涂层的表面形貌特征 ,并由二次离子质谱 (SIMS)分析了C SiC涂层的阻氢性能 .结果表明 ,所制备C SiC涂层的表面形貌与靶材组分以及Ar+ 离子轰击剂量有关 ,不同的形貌特征对涂层的阻氢性能影响不同 .

H^+辐照前后C-SiC涂层的红外吸收光谱研究

对在不锈钢基体上用离子束混合技术沉积的C -SiC涂层 ,进行了二次离子质谱 (SIMS)及傅氏变换红外吸收光谱 (FI-IR)的分析。研究了不锈钢基体涂覆H +辐照前后的氢浓度分布以及H+辐照前后涂层的红外光谱振动吸收峰的变化 。

H^+辐照前后C-SiC涂层的XPS分析

对不锈钢基体上离子束混合沉积的C -SiC涂层进行了H+ 辐照模拟试验 ,由SIMS测量H+ 辐照前后氢的浓试分布 ,采用沟电子能谱 (XPS)对H+ 辐照前后涂层元素C和Si进行了内层电子结合能的测量分析 ,研究C及Si的化学键态的变化与H的关系 。