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题名液晶实时掩膜技术制作连续微光学元件
被引量:20
- 1
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作者
彭钦军
郭永康
陈波
刘世杰
曾阳素
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机构
四川大学物理系信息光学研究中心
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出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第2期220-224,共5页
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基金
国家自然科学基金 ( 6 99780 14)资助课题。
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文摘
提出制作连续微光学元件的一种新技术———液晶实时掩膜技术 ,阐述了其基本原理和制作方法。基于部分相干光成像理论 ,采用计算机模拟了用实时掩膜制作微透镜和微轴锥镜阵列的过程。同时建立了实验装置进行实验 ,用全色银盐干板 (Kodak 131)通过酶刻蚀得到口径为 118.7μm ,深为 1.32 2 μm的 5 6× 48的轴锥镜的列阵。
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关键词
制作
应用光学
实时掩膜
液晶显示器件
连续微光学元件
光刻
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Keywords
Computer simulation
Liquid crystal displays
Photolithography
Real time systems
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分类号
TN201
[电子电信—物理电子学]
TN305.7
[电子电信—物理电子学]
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题名制作重铬酸盐明胶微光学元件的化学裂解刻蚀方法
- 2
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作者
庞霖
严瑛白
金国藩
邬敏贤
郭履容
陈波
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机构
清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室
四川大学物理系信息光学研究中心
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出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第2期146-150,共5页
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基金
中国博士后科学基金
清华大学机械学院基础基金资助课题
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文摘
从生物化学和蛋白质的裂解机制出发 ,提出一种新的重铬酸盐明胶 (DCG)浮雕形成方法———化学裂解刻蚀法。由于化学裂解试剂较胰蛋白酶具有少得多的作用位点 ,化学裂解方法比明胶酶蚀方法具有更高的刻蚀分辨率。实验考察表明 ,化学裂解方法可以获得 5 0 0lines mm的刻蚀分辨率。应用化学裂解方法 ,利用投影曝光系统和灰度掩摸 ,制作了单元线宽为 30 μm ,深度为 0 8μm的连续浮雕明胶微棱镜列阵。
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关键词
化学裂解
微光学元件
重铬酸盐明胶
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Keywords
chemical cleavage, microoptical elements, continuous relief, dichromated gelatin
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分类号
TH74
[机械工程—光学工程]
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题名实时灰阶掩膜技术制作微透镜列阵
被引量:5
- 3
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作者
彭钦军
郭永康
曾阳素
刘世杰
陈波
肖啸
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机构
四川大学物理系信息光学研究中心
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出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第10期893-896,共4页
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基金
国家自然科学基金 (批准号 :6 99780 14 )资助项目
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文摘
提出一种制作连续微结构的实时灰阶掩膜技术 ,它将液晶显示 (LCD)系统和投影光刻系统相结合 ,利用液晶显示系统实时显示一系列二值图形来获得连续的灰度记录 ,给出了原理分析。基于部分相干光成像理论 ,进行了微透镜制作的计算机模拟。建立了实验装置 ,并采用全色卤化银明胶 (Kodak131)通过酶刻蚀得到半径为 5 9 33μm ,深为 1 6 38μm的 5 6× 4
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关键词
物理光学
实时灰阶掩膜
液晶显示
微透镜列阵
光刻
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Keywords
Arrays
Computer simulation
Enzymes
Liquid crystal displays
Masks
Photolithography
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分类号
TN305.7
[电子电信—物理电子学]
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题名酶蚀卤化银明胶制作连续微结构
- 4
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作者
彭钦军
郭永康
刘世杰
朱建华
曾阳素
陈波
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机构
四川大学物理系信息光学研究中心
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出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第11期1027-1030,共4页
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基金
国家自然科学基金 (No .6 99780 14 )资助项目
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文摘
提出酶蚀卤化银明胶制作连续深浮雕微结构的新方法。给出了卤化银明胶酶蚀成像原理和深刻蚀过程机理的理论分析。求得存在吸收时 ,刻蚀深度与曝光量关系的解析式。表明胶膜对光的吸收是造成其非线性关系的主要原因 ,并提出了解决方案和优化工艺参数 ,通过实验得到在刻蚀深度为 4 μm范围内有良好的线性关系 。
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关键词
光化学
卤化银明胶
蛋白酶刻蚀
连续微结构
实时掩模
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Keywords
optics chemistry
silver halide gelatin
enzyme etching
continuous microstructure
real time mask
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分类号
TQ59
[化学工程—精细化工]
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题名基于微结构制作的溶胶凝胶浸渍成膜特性
被引量:2
- 5
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作者
庞霖
严瑛白
金国藩
韦辉
郭履容
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机构
清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室
四川大学物理系信息光学研究中心
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出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第2期151-154,共4页
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基金
中国博士后科学基金
国家863高技术资助项目
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文摘
针对制作溶胶 凝胶 (sol gel)微光学元件的需要 ,对溶胶 凝胶浸渍提拉成膜过程中膜厚、均匀性等成膜特性进行了仔细考察。对于室温干燥情况 ,提拉成膜厚度与提拉速度的经验关系为 :低速时膜厚与提拉速度呈 1 2次幂关系 ;高速时则偏离以上关系 ,且随速度的增大 ,膜厚增加缓慢。对成膜过程的分析表明 ,挥发过程对溶胶
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关键词
微光学元件
溶胶-凝胶
浸渍提拉
微结构
薄膜
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Keywords
microoptical elements, sol-gel, dip-coating
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分类号
O484.4
[理学—固体物理]
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题名挡光型可变光衰减器的衰减量构成的分析
被引量:7
- 6
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作者
向金山
陈波
黄河振
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机构
四川大学物理系信息光学研究中心
光炬科技深圳有限公司
光炬科技深圳有限公司
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出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第12期1071-1074,共4页
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基金
国家自然科学基金 (批准号 :6 99780 14)资助项目
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文摘
从机械挡光型衰减器的原理结构出发 ,在理论与实验两方面证实了挡光型可变衰减器的衰减量应包括直接挡光能量衰减和模场失配衰减两部分 ,并得出了这两种衰减量之间的相互关系。
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关键词
光纤通信
机械挡光型可变衰减器
能量衰减
模场失配衰减
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Keywords
Attenuation
Light reflection
Optical variables measurement
Waveguide attenuators
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分类号
TN929.11
[电子电信—通信与信息系统]
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