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TiO_2薄膜成分和结构分析及其对折射率的影响
1
作者
刘成士
伍登学
+2 位作者
赵利利
廖志君
卢铁城
《稀有金属材料与工程》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第A02期575-578,共4页
在硅衬底上利用电子束蒸发沉积了TiO2薄膜,利用椭圆偏振仪测量了不同沉积温度下的TiO2薄膜的折射率,发现其折射率随着沉积温度的升高而升高。利用X射线衍射(XRD)仪对这些薄膜的结构进行表征,发现折射率高的样品其结晶化程度也高。利用X...
在硅衬底上利用电子束蒸发沉积了TiO2薄膜,利用椭圆偏振仪测量了不同沉积温度下的TiO2薄膜的折射率,发现其折射率随着沉积温度的升高而升高。利用X射线衍射(XRD)仪对这些薄膜的结构进行表征,发现折射率高的样品其结晶化程度也高。利用X射线光电子能谱(XPS)和傅立叶红外吸收谱(FT-IR)相结合的方法对薄膜的成分进行分析,发现内部存在低价态的钛氧化物,使薄膜的折射率明显低于固体块材料的折射率。
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关键词
TIO2薄膜
折射率
电子束蒸发
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职称材料
氧气氛退火对TiO_2薄膜结构和成分的影响
2
作者
赵利利
伍登学
+2 位作者
刘成士
廖志君
卢铁城
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第S1期17-20,共4页
采用电子束蒸发在硅衬底上制备TiO2薄膜,并在氧气氛下进行退火处理。分别使用X射线衍射仪和椭圆偏振仪分析退火前后以及不同退火温度下薄膜样品的结构、成分和折射率,研究氧气氛下进行退火对薄膜结构、成分和折射率的影响。结果表明:氧...
采用电子束蒸发在硅衬底上制备TiO2薄膜,并在氧气氛下进行退火处理。分别使用X射线衍射仪和椭圆偏振仪分析退火前后以及不同退火温度下薄膜样品的结构、成分和折射率,研究氧气氛下进行退火对薄膜结构、成分和折射率的影响。结果表明:氧气氛下退火能够有效地改善薄膜缺氧的问题,提高TiO2薄膜的质量。
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关键词
TIO2薄膜
电子束蒸发
氧气氛退火
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职称材料
利用电子束蒸发制备高K介质TiO_2薄膜
被引量:
1
3
作者
刘成士
伍登学
+1 位作者
赵利利
廖志君
《四川大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第2期356-360,共5页
利用电子束蒸发在不同的衬底温度和蒸发束流下制备了TiO_2薄膜,利用椭圆偏振仪测出了不同工艺条件下薄膜的厚度和折射率;利用高频CV曲线研究了制备工艺条件对TiO_2薄膜的电容特性的影响,发现衬底温度和蒸发束流严重影响TiO_2薄膜的CV曲...
利用电子束蒸发在不同的衬底温度和蒸发束流下制备了TiO_2薄膜,利用椭圆偏振仪测出了不同工艺条件下薄膜的厚度和折射率;利用高频CV曲线研究了制备工艺条件对TiO_2薄膜的电容特性的影响,发现衬底温度和蒸发束流严重影响TiO_2薄膜的CV曲线特性;最后利用XPS(X射线能谱)和FI—IR(傅立叶红外吸收)相结合的方法对TiO_2薄膜的成分进行了分析,发现在与硅交界处存在一个亚稳态的过渡层,其成分是低价态的TiO_x(x<2)和SiO_y(y<2).
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关键词
TIO2薄膜
高频CV曲线
电子束蒸发
原文传递
题名
TiO_2薄膜成分和结构分析及其对折射率的影响
1
作者
刘成士
伍登学
赵利利
廖志君
卢铁城
机构
四川大学辐射物理与技术国家教育部重点实验室
中科院国际材料中心
出处
《稀有金属材料与工程》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第A02期575-578,共4页
基金
总装预研基金(JG2006047)资助
文摘
在硅衬底上利用电子束蒸发沉积了TiO2薄膜,利用椭圆偏振仪测量了不同沉积温度下的TiO2薄膜的折射率,发现其折射率随着沉积温度的升高而升高。利用X射线衍射(XRD)仪对这些薄膜的结构进行表征,发现折射率高的样品其结晶化程度也高。利用X射线光电子能谱(XPS)和傅立叶红外吸收谱(FT-IR)相结合的方法对薄膜的成分进行分析,发现内部存在低价态的钛氧化物,使薄膜的折射率明显低于固体块材料的折射率。
关键词
TIO2薄膜
折射率
电子束蒸发
Keywords
TiO2 film
refractive index
electron beam evaporation
分类号
O484 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
氧气氛退火对TiO_2薄膜结构和成分的影响
2
作者
赵利利
伍登学
刘成士
廖志君
卢铁城
机构
四川大学辐射物理与技术国家教育部重点实验室
中国科学院国际材料中心
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第S1期17-20,共4页
基金
国家自然科学基金委员会"重点学术期刊专项基金"(No.50131010)
总装预研基金(JG2006047)资助
文摘
采用电子束蒸发在硅衬底上制备TiO2薄膜,并在氧气氛下进行退火处理。分别使用X射线衍射仪和椭圆偏振仪分析退火前后以及不同退火温度下薄膜样品的结构、成分和折射率,研究氧气氛下进行退火对薄膜结构、成分和折射率的影响。结果表明:氧气氛下退火能够有效地改善薄膜缺氧的问题,提高TiO2薄膜的质量。
关键词
TIO2薄膜
电子束蒸发
氧气氛退火
Keywords
TiO2 films
electron beam evaporation
annealing in O2 atmosphere
分类号
O484.5 [理学—固体物理]
下载PDF
职称材料
题名
利用电子束蒸发制备高K介质TiO_2薄膜
被引量:
1
3
作者
刘成士
伍登学
赵利利
廖志君
机构
四川大学辐射物理与技术国家教育部重点实验室
出处
《四川大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第2期356-360,共5页
基金
国家自然科学基金委员会"重点学术期刊专项基金"(50131010)
总装预研基金(JG2006047)
文摘
利用电子束蒸发在不同的衬底温度和蒸发束流下制备了TiO_2薄膜,利用椭圆偏振仪测出了不同工艺条件下薄膜的厚度和折射率;利用高频CV曲线研究了制备工艺条件对TiO_2薄膜的电容特性的影响,发现衬底温度和蒸发束流严重影响TiO_2薄膜的CV曲线特性;最后利用XPS(X射线能谱)和FI—IR(傅立叶红外吸收)相结合的方法对TiO_2薄膜的成分进行了分析,发现在与硅交界处存在一个亚稳态的过渡层,其成分是低价态的TiO_x(x<2)和SiO_y(y<2).
关键词
TIO2薄膜
高频CV曲线
电子束蒸发
Keywords
TiO2 film, high frequency C-V, electron beam evaporation
分类号
O571 [理学—粒子物理与原子核物理]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
TiO_2薄膜成分和结构分析及其对折射率的影响
刘成士
伍登学
赵利利
廖志君
卢铁城
《稀有金属材料与工程》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
0
下载PDF
职称材料
2
氧气氛退火对TiO_2薄膜结构和成分的影响
赵利利
伍登学
刘成士
廖志君
卢铁城
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
0
下载PDF
职称材料
3
利用电子束蒸发制备高K介质TiO_2薄膜
刘成士
伍登学
赵利利
廖志君
《四川大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2011
1
原文传递
已选择
0
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