不同衬底对离子束辅助沉积TiC_xN_y膜力学性能影响的研究

用离子束辅助沉积（IBAD）技术在TC4钛合金和9Cr18、GCr15钢基体上形成了TiCxNy膜，TEM观察发现膜均呈多晶结构，都具有（111）、（200）和（220）择优取向。AES和XPS分析进一步证实，TiCxNy膜呈含氧配置。膜的硬度和摩擦特性与N含量有关，总的趋势是N的含量过高，其硬度与摩擦性能均下降。在本试验条件下，以注入量3×1017ions／cm2的辅助剂量最佳。干摩擦表明膜的抗氧化性能优良，能有效抑制基体在摩擦过程中氧化膜的形成。又由于膜的硬度高，润滑性良好，各种基体的磨损特性都得到了显著改善。

用阻抗计算换相重叠角γ

采用变量代换方法，将原计算换相重叠角γ公式用负载电阻Ｒｄ、等效内阻ｒ０和控制角α表示，较原公式具有获取数据容易。