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题名SiO_2膜针孔的分析与检测
被引量:2
- 1
-
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作者
赵策洲
张德胜
顾瑛
胡刚毅
郭林
张正元
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机构
西安电子科技大学微电子研究所
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出处
《微电子学》
CAS
CSCD
1994年第6期60-64,共5页
-
文摘
本文分析了SiO_2膜的针孔模型及漏电机理,讨论了针孔密度的概念,并用EPW(乙二胺-邻苯二酚水溶液)法和漏电流法分析了针孔与漏电流的关系,给出了SiO_2膜无明显针孔的判据。
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关键词
针孔
漏电流
光刻
二氧化硅薄膜
-
Keywords
SiO_2 film,Pin-hole,Leakage current
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分类号
TN305.7
[电子电信—物理电子学]
-
-
题名硅槽刻蚀技术中的源气体选择
被引量:2
- 2
-
-
作者
王清平
苏韧
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机构
四川重庆电子工业部第
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出处
《微电子学》
CAS
CSCD
1994年第6期65-68,共4页
-
文摘
源气体及组分的选择是硅槽刻蚀技术的关键因素。本文介绍了刻蚀过程中源气体及组分对硅的作用方式,从刻蚀速率、侧壁钝化、损伤、刻蚀均匀性等方面分析比较了近年来所出现的几种硅糟刻蚀用源气体及组分。
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关键词
硅槽刻蚀
源气体
刻蚀
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Keywords
Si trench etching,Source gas,IC process
-
分类号
TN305.7
[电子电信—物理电子学]
-
-
题名表面安装过程中的缺陷及解决方法
- 3
-
-
作者
谈侃侃
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机构
四川重庆电子工业部第
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出处
《微电子学》
CAS
CSCD
1994年第6期35-37,共3页
-
文摘
本文介绍了在表面安装过程中出现的一些缺陷,这些缺陷会影响产品的可靠性,使电路性能变差。作者针对这些缺陷,提出了相应的解决方案。
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关键词
表面安装技术
缺陷
电子封装
SMT
-
Keywords
Surface mount technology,Defect,Electronic packaging
-
分类号
TN42
[电子电信—微电子学与固体电子学]
-
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题名一种全新的高性能n-JFET和n-p-n兼容工艺
被引量:1
- 4
-
-
作者
刘先锋
王界平
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机构
四川重庆电子工业部第
-
出处
《微电子学》
CAS
CSCD
1994年第6期58-59,共2页
-
文摘
本文提出了一种全新的n-JFET和n-p-n兼容工艺,采用二次外延实现了JFET和n-p-n的隔离。介绍了工艺流程,并对工艺上第一外延的厚度和浓度、二次硼埋浓度以及隔离的温度和时间对n-JFET的V_p和n-p-n管的性能的影响进行了讨论。采用这种工艺研制出了V_p达3.5~4.5V,I_(DSS)=15mA的JFET和f_T=800MHz,β=100,BV_(ceo)≥25V的n-p-n管,并成功运用于调制解调开关侧音放大器中。
-
关键词
n-JFET
n-p-n
晶体管
兼容工艺
场效应晶体管
-
Keywords
n-JFET,n-p-n transistor,Compatible Process
-
分类号
TN386.6
[电子电信—物理电子学]
-
-
题名高速高精度D/A转换电路的激光动态修调
被引量:1
- 5
-
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作者
刘金良
严顺炳
蒋和全
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机构
四川重庆电子工业部第二十四研究所
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出处
《微电子学》
CAS
CSCD
1994年第5期1-5,共5页
-
文摘
本文介绍了激光修调原理、动态修调实现的方法,并以修调SDA1210(12位D/A转换电路)为例,说明D/A转换电路动态修调程序设计的方法、技巧以及应注意的问题。
-
关键词
激光修调
动态修调
数-模转换器
电路
-
Keywords
Laser trimming.Dynamic trimming.Thin-film resistor.Digital-to-analog converter
-
分类号
TP335.4
[自动化与计算机技术—计算机系统结构]
-
-
题名特气气瓶柜吹洗系统
被引量:2
- 6
-
-
作者
李晓峰
-
机构
四川重庆电子工业部第
-
出处
《微电子学》
CAS
CSCD
1994年第5期57-63,共7页
-
文摘
气瓶柜是处理半导体特殊气体的重要装置。本文着重介绍了半导体气瓶柜吹洗系统的结构特点、设计要求,以及气体处理技术和安全操作。
-
关键词
气瓶柜
吹洗系统
循环吹洗法
半导体
-
Keywords
Gas cabinet,Purging device,Cyclic purging
-
分类号
TN305.99
[电子电信—物理电子学]
-
-
题名一种ECL高速可编程分频器
被引量:1
- 7
-
-
作者
王永禄
-
机构
四川重庆电子工业部第
-
出处
《微电子学》
CAS
CSCD
1994年第5期10-16,共7页
-
文摘
本文介绍了一种ECL高速可编程分频器的逻辑设计、电路设计、温度补偿设计、版图设计及研制结果。采用4μmpn结双埋层对通隔离ECL工艺技术制作的可编程分频器,其最高工作频率达100MHz以上,工作温度范围为-55~+125℃,分频模数在1~64之间任意自然数连续可变。
-
关键词
ECL电路
可编程分频器
T型
触发器
分频器
-
Keywords
ECL circuit.Frequency divider.T flip-flop
-
分类号
TN772
[电子电信—电路与系统]
-
-
题名SAD0820高速8位A/D转换器的设计与分析
被引量:1
- 8
-
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作者
江泽福
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机构
四川重庆电子工业部
-
出处
《微电子学》
CAS
CSCD
1994年第6期18-21,共4页
-
文摘
SAD0820高速8位A/D转换器是一种具有跟踪/保持功能的8位高速微机兼容A/D转换器,其转换时间为1.5us,功耗为75mW,用串并结构来实现A/D转换器的高速。每4位ADC分别由15个比较器构成;单一电源工作,采用双层多晶硅p阱CMOS工艺制作。
-
关键词
CMOS
比较器
串并结构
模-数转换器
-
Keywords
CMOS,A/D converter,comparator,Subranging structure
-
分类号
TP335.1
[自动化与计算机技术—计算机系统结构]
-
-
题名表面安装技术及其国内外发展概况
被引量:1
- 9
-
-
作者
熊辉
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机构
四川重庆电子工业部第
-
出处
《微电子学》
CAS
CSCD
1994年第6期31-34,共4页
-
文摘
表面安装技术(SMT)是一种当今正在迅猛发展的先进电子组装技术。本文描述了SMT的发展简史,以及该技术在当前国内外的发展概况。
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关键词
表面安装技术
微电子组装
进展
SMT
-
Keywords
Surface mount technology.Microelectronic assembly
-
分类号
TN42
[电子电信—微电子学与固体电子学]
-
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题名MCM:新一代组装技术
被引量:1
- 10
-
-
作者
宋泰伦
-
机构
四川重庆电子工业部第
-
出处
《微电子学》
CAS
CSCD
1995年第3期1-4,共4页
-
文摘
本文叙述了组装技术的发展历史,MCM的特点及存在的问题,MCM的种类和主要工艺技术以及应用情况,最后对MCM的定义提出了一些看法。
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关键词
MCM
组装技术
集成电路
-
Keywords
MCM,Assembly technology,IC
-
分类号
TN42
[电子电信—微电子学与固体电子学]
-
-
题名一种评估旋转式机械设备工况的方法
被引量:1
- 11
-
-
作者
赖凡
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机构
四川重庆电子工业部第
-
出处
《微电子学》
CAS
CSCD
1995年第3期40-43,共4页
-
文摘
用数据采集系统采集旋转式机械设备旋转构件上所选测点的振动位移,并计算出该振动参数基本统计特性的数值,就可以应用本文提出的判断不等式对设备的工况进行初步评估。动力增益因子的引入使静态测量精度能用于对振动动态过程的分析。以集成电路制造专用设备硅片磨床为例,阐述了这种评估方法。
-
关键词
工况评估
旋转式
机械设备
-
Keywords
Rotary tool,Operating mode evaluation,Semiconductor equipment
-
分类号
TH113
[机械工程—机械设计及理论]
-
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题名雷达接收机中的集成对数放大器
被引量:2
- 12
-
-
作者
涂万贵
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机构
四川重庆电子工业部第
-
出处
《微电子学》
CAS
CSCD
1994年第1期39-45,共7页
-
文摘
叙述用于雷达接收机的三种对数放大器,即检波对数视频放大器(DLVA)、连续检波对数放大器(SDLA)、以及真对数放大器(TLA)。分析了国内、国外集成对数放大器的水平及发展状况。
-
关键词
对数放大器
集成电路
雷达接收机
-
Keywords
Log amplifier,Integrated circuit.Module,Radar receiver
-
分类号
TN957.5
[电子电信—信号与信息处理]
-
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题名SW3424电源电压监控保护电路的设计与应用
- 13
-
-
作者
龚剑波
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机构
四川重庆电子工业部第
-
出处
《微电子学》
CAS
CSCD
1994年第5期6-9,共4页
-
文摘
本文介绍并分析了一种电源电压监控保护电路的工作原理及应用。该保护电路采用了双通道输入/双通运输出。输入比较器有较宽的共模电压范围,有可编程磁滞输入和可编程输入/输出延时。输出采用了大电流驱动输出和显示输出。本文给出了其主要性能指标、典型应用连接图及需注意的问题。该电路可广泛用于航空、航天、雷达、通信及精密仪器等领域。
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关键词
比较器
电源
集成电路
监视控制
保护电路
-
Keywords
Power IC.Comparator.Over-voltage protection,Under-voltage monitoring
-
分类号
TN86
[电子电信—信息与通信工程]
-
-
题名MCM真对数放大器
- 14
-
-
作者
黄开军
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机构
四川重庆电子工业部第
-
出处
《微电子学》
CAS
CSCD
1994年第6期10-13,共4页
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文摘
本文介绍了MCM真对数放大器的设计原理,通过SH306的有关数据,展示出它广泛的应用范围,给出了应用数据和应用电路,供用户使用时参考。
-
关键词
真对数放大器
MCM
模拟IC
对数放大器
-
Keywords
True logarithmic amplifier, MCM,Analog IC
-
分类号
TN722.58
[电子电信—电路与系统]
-
-
题名集成模拟乘法器
- 15
-
-
作者
李瑞发
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机构
四川重庆电子工业部第
-
出处
《微电子学》
CAS
CSCD
1994年第1期32-38,共7页
-
文摘
本文简述了集成模拟乘法器的作用与实现方法及各种方法的优缺点。着重介绍了开关模拟乘法器和四象限模拟乘法器的组成、工作原理、发展状况、主要特点和用途。详述了国外新产品HPMX2001型硅双极单片QPSK调制器;列举了AD532内修正集成电路乘法器/除法器和AD534高性能内修正集成电路四象限乘法器/除法器的主要性能;指出研制正文电路及四象限乘法器的必要性和技术要求。
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关键词
乘法器
除法器
四象限乘法器
电路
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Keywords
Multiplier,Divider.Switching tnultiplier.Four-quadrant multiplier,Quadrature circuit
-
分类号
TP342.22
[自动化与计算机技术—计算机系统结构]
-
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题名鉴相器及其集成
- 16
-
-
作者
李瑞发
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机构
四川重庆电子工业部第
-
出处
《微电子学》
CAS
CSCD
1994年第6期4-9,共6页
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文摘
本文简述了鉴相器的作用、功能和分类;详述了理想乘法器和吉尔伯特乘法器单元电路的工作原理及其鉴相特性;介绍了几种可资采用的集成鉴相器的外围电路、特点、主要技术特性及目前的研制动向。
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关键词
鉴相器
模拟乘法器
锁相环
集成鉴相器
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Keywords
Phase detectof,Analog multiplier, Phase-locked loop
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分类号
TN763.3
[电子电信—电路与系统]
-
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题名CVD工艺尾气处理系统
- 17
-
-
作者
李晓峰
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机构
四川重庆电子工业部第
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出处
《微电子学》
CAS
CSCD
1995年第3期35-39,共5页
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文摘
本文就CVD工艺尾气处理进行了详细的介绍,并着重对CVD工艺尾气处理CDO系统的反应机理、构造及使用进行了分析和讨论。
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关键词
半导体
工艺
化学气相淀积
尾气处理
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Keywords
IC process,Semlconductor equipment,Chemical vapor deposition
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分类号
TN305
[电子电信—物理电子学]
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题名一种1.3GHz硅双模预置分频器
- 18
-
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作者
王永禄
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机构
四川重庆电子工业部第
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出处
《微电子学》
CAS
CSCD
1995年第3期5-9,13,共6页
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文摘
本文介绍了一种硅双模预置分频器(÷40/42)的电路原理、电路设计、版图设计、工艺技术及研制结果。采用3μm设计规则的硅双极型pn结对通隔离工艺、薄层外延和泡发射极等ECL高速电路制作技术,双模预置分频器最高工作频率在-55℃~+125℃环境温度范围内达1300MHz以上,并且具有输入动态范围大、电源电压宽等特点。
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关键词
ECL
触发器
预置分频器
硅双极工艺
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Keywords
ECL flip-flop,Prescaler,Si bipolar process
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分类号
TN772
[电子电信—电路与系统]
TN783
[电子电信—电路与系统]
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题名SDA7533D/A转换器的研制
- 19
-
-
作者
江泽福
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机构
四川重庆电子工业部第
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出处
《微电子学》
CAS
CSCD
1995年第3期14-18,共5页
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文摘
本文主要讨论了SDA7533D/A转换器的工作原理,对其制造工艺进行了详细的研究,最后给出了用优化工艺制造的电路的指标。
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关键词
模拟集成电路
数-模转换器
CMOS工艺
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Keywords
Analog IC,Digital-to-analog converter,CMOS process
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分类号
TP335.4
[自动化与计算机技术—计算机系统结构]
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题名一种10位乘法型D/A转换器的设计
- 20
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作者
刘永光
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机构
四川重庆电子工业部第
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出处
《微电子学》
CAS
CSCD
1994年第6期27-30,共4页
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文摘
本文介绍一种采用R-2R梯形电阻网络和CMOS模拟开关的典型结构的单片10位D/A转换器。在设计和制作上进行优化,不用激光修调能够达到10位精度,在全温范围内有较高的温度跟踪特性。
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关键词
模拟开关
电阻网络
数-模转换器
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Keywords
D/A converter,Analog switch,Resistor network
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分类号
TP335.4
[自动化与计算机技术—计算机系统结构]
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