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浅析固体微结构物理国家重点实验室大型仪器设备平台的建设与运行 被引量:2
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作者 张文俊 《中国基础科学》 2014年第2期20-24,共5页
本文介绍了固体微结构物理国家重点实验室大型仪器设备平台的建设与运行情况,分析了平台运行中遇到的问题,如平台的资源整合和宣传、实验技术人员的考核与激励、平台运行的经费支持等,并提出了切实可行的解决方案。本文建议,继续建设和... 本文介绍了固体微结构物理国家重点实验室大型仪器设备平台的建设与运行情况,分析了平台运行中遇到的问题,如平台的资源整合和宣传、实验技术人员的考核与激励、平台运行的经费支持等,并提出了切实可行的解决方案。本文建议,继续建设和完善大型仪器设备平台,推进平台运行的规范化、制度化,将为实验室开展科学研究、人才培养、学术交流等各项工作提供保障。 展开更多
关键词 大型仪器设备 平台建设 队伍建设 经费支持
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柱撑蒙脱石的微结构变化研究 被引量:27
2
作者 吴平霄 张惠芬 +2 位作者 郭九皋 王辅亚 刘小勇 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1999年第1期95-100,共6页
制备了柱撑蒙脱石,并运用^(27)Al核磁共振谱等技术对柱化溶液中的Al的状态进行了研究,运用X射线定向衍射技术、红外光谱、差热、热重分析及原子力显微镜等技术对往化粘土中Keggi结构的作用及热稳定性进行了研究.结果表明,AlCl3溶液在... 制备了柱撑蒙脱石,并运用^(27)Al核磁共振谱等技术对柱化溶液中的Al的状态进行了研究,运用X射线定向衍射技术、红外光谱、差热、热重分析及原子力显微镜等技术对往化粘土中Keggi结构的作用及热稳定性进行了研究.结果表明,AlCl3溶液在[OH-]/[Al^(3+)]=2.4时水解生成的Kegin离子最多.柱撑蒙脱石层间距在自然状态下为2.53um,300℃灼烧后层间距稳定在1.83um,具有较好的热稳定性. 展开更多
关键词 柱撑蒙脱石 结构 稳定性 催化剂
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蒙脱石热处理产物的微结构变化研究 被引量:22
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作者 吴平霄 张惠芬 +1 位作者 郭九皋 胡澄 《地质科学》 CAS CSCD 北大核心 2000年第2期185-196,共12页
本文对广东和平蒙脱石及其热处理产物进行了化学分析、差热和热重分析、X射线粉末衍射分析、红外吸收光谱分析、扫描电镜、原子力显微镜及魔角旋转核磁共振等研究。结果表明 ,蒙脱石在热处理温度为 1 2 6℃— 1 48℃时 ,主要脱出吸附水... 本文对广东和平蒙脱石及其热处理产物进行了化学分析、差热和热重分析、X射线粉末衍射分析、红外吸收光谱分析、扫描电镜、原子力显微镜及魔角旋转核磁共振等研究。结果表明 ,蒙脱石在热处理温度为 1 2 6℃— 1 48℃时 ,主要脱出吸附水和层间水 ,这一脱水过程是可逆的。当热处理温度达到 659℃时 ,蒙脱石八面体片中的羟基开始脱失 ,但层状结构仍然保持 ,这种羟基的脱失过程对应着八面体片中 Al 向 Al 的转变。当温度达到 90 0℃时 ,蒙脱石的层状结构完全被破坏 ,并有新的矿物相 μ-堇青石产生。当温度为 1 2 0 0℃时 ,则出现方英石及莫来石相。当热处理温度达到 1 350℃时 ,方英石及莫来石的含量略有减少 ,并出现较多的含铁堇青石相。 展开更多
关键词 蒙脱石 热处理 魔角旋转 核磁共振 微结构
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蒙脱石酸处理产物的微结构变化研究 被引量:11
4
作者 吴平霄 张惠芬 +2 位作者 郭九皋 刘小勇 胡澄 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1999年第6期909-914,共6页
本文对广东和平蒙脱石及其酸处理产物进行了化学分析、X射线粉末衍射分析、红外吸收光谱分析、电子顺磁共振谱、原子力显微镜及魔角旋转核磁共振等研究.结果表明,酸处理浓度对蒙脱石的表面结构有很大的影响.当酸处理浓度达到20%时... 本文对广东和平蒙脱石及其酸处理产物进行了化学分析、X射线粉末衍射分析、红外吸收光谱分析、电子顺磁共振谱、原子力显微镜及魔角旋转核磁共振等研究.结果表明,酸处理浓度对蒙脱石的表面结构有很大的影响.当酸处理浓度达到20%时,蒙脱石的Q3Si结构有部分转变为畸变的Q3Si结构和Q4Si结构,而Al的结构状态则没有发生任何变化,这与原子力显微镜的观察结果相一致. 展开更多
关键词 蒙脱石 酸处理 粘土矿物 活性白土
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实验室是现代化大学的心脏 被引量:241
5
作者 冯端 《实验室研究与探索》 CAS 2000年第5期1-4,共4页
从国际、国内实验室发展情况阐述了实验室的重要性 ,实验室可比喻为现代化大学的心脏。讨论了建设好实验室的关键、实验教学改革、实验队伍及对实验室的希望。
关键词 实验室 实验室水平 实验教学改革 高校
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氮化蓝宝石衬底上GaN薄膜的微结构与光学性质 被引量:2
6
作者 陈志忠 秦志新 +3 位作者 沈波 朱建民 郑有炓 张国义 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第2期124-128,共5页
用透射电子显微镜 (TEM) ,X射线衍射(XRD)和光荧光谱 (PL)等测量手段研究了GaN薄膜的微结构和光学性质。样品是用光辐射加热MOCVD在蓝宝石衬底上制备的。随着衬底氮化时间的增加 ,扩展缺陷的密度显著增加。在位错密度增加一个数量级时 ,... 用透射电子显微镜 (TEM) ,X射线衍射(XRD)和光荧光谱 (PL)等测量手段研究了GaN薄膜的微结构和光学性质。样品是用光辐射加热MOCVD在蓝宝石衬底上制备的。随着衬底氮化时间的增加 ,扩展缺陷的密度显著增加。在位错密度增加一个数量级时 ,XRD摇摆曲线半宽度 (FWHM)由 1 1″增加到 1 5″,PL谱的黄光发射从几乎可忽略增加到带边发射强度的 1 0 0倍。结合生长条件 。 展开更多
关键词 氮化镓 氮化蓝宝石衬底 GAN薄膜 微结构 光学性质
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BaTiO_3铁电纳米膜制备及物性和微结构表征 被引量:2
7
作者 朱信华 朱健民 +1 位作者 刘治国 闵乃本 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第2期180-185,共6页
采用脉冲激光淀积法在硅基氧化铝纳米有序孔膜版介质上(膜版孔径平均尺寸20nm,内生长Pt纳米线作为底电极一部分)制备了BaTiO3铁电纳米膜,并对其物性(铁电和介电性能)和微结构进行了表征。结果表明厚度170nm BaTiO3铁电膜的介电常数,随... 采用脉冲激光淀积法在硅基氧化铝纳米有序孔膜版介质上(膜版孔径平均尺寸20nm,内生长Pt纳米线作为底电极一部分)制备了BaTiO3铁电纳米膜,并对其物性(铁电和介电性能)和微结构进行了表征。结果表明厚度170nm BaTiO3铁电膜的介电常数,随着测量频率的增加(103Hz至106Hz),从400缓慢下降到350;介电损耗在低频区域(103~105Hz)从0.029缓慢增加到0.036,而在高频率区域(>105Hz)后,则迅速增加到0.07。这是由于BaTiO3铁电薄膜的介电驰豫极化引起的。电滞回线测量结果表明,该薄膜的剩余极化强度为17μC/cm2,矫顽场强为175kV/cm。剖面扫描透射电子显微镜(STEM)图像表明,BaTiO3纳米铁电薄膜与底电极Pt纳米线直接相连接,它们之间的界面呈现一定程度的弯曲。选区电子衍射图和高分辨电子显微像均表明BaTiO3铁电薄膜具有钙钛矿型结构。在BaTiO3纳米铁电薄膜退火晶化处理后,部分Pt纳米线的再生长导致顶端出现分枝展宽现象。为了兼顾氧化铝纳米有序孔膜版内的金属纳米线有序分布和BaTiO3纳米薄膜结晶度,合适的退火温度是制备工艺过程的关键因素。 展开更多
关键词 BATIO3 铁电纳米膜 介电和铁电性能 微结构
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高校实验室安全管理工作的研究与实践 被引量:44
8
作者 张文俊 《实验室研究与探索》 CAS 北大核心 2016年第1期282-285,共4页
针对目前高校实验室在安全管理工作中存在的诸多问题,从硬件建设、机构建设、管理制度建设等方面提出具体的改进措施。经过努力实践,实验室在基础设施的建设和维护、培训准入机制、安全检查机制和考核奖惩机制等方面取得较大进展,积累... 针对目前高校实验室在安全管理工作中存在的诸多问题,从硬件建设、机构建设、管理制度建设等方面提出具体的改进措施。经过努力实践,实验室在基础设施的建设和维护、培训准入机制、安全检查机制和考核奖惩机制等方面取得较大进展,积累了丰富的管理经验。高校实验室的安全管理工作内涵非常丰富,在整合硬件资源、建立安全事故应急机制等方面还有许多工作有待进一步完善。作为实验室安全工作人员,不能存有任何侥幸心理,一定要认真落实每一个环节,不断完善安全管理工作和提高安全管理水平。 展开更多
关键词 高校实验室 安全管理 培训准入 安全检查
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实验室的重要性,再强调也不过分 被引量:20
9
作者 冯端 《实验室研究与探索》 CAS 北大核心 2012年第10期1-2,共2页
提出对实验室的重要性再强调也不过分的观点。联系国外一些著名实验室的情况,提出如何建设高水平的实验室,并进一步论述了实验室对培养科学工作者的作用。文章对实验室存在的一些问题作了讨论,提出要采取措施,充分发挥仪器设备的使用效... 提出对实验室的重要性再强调也不过分的观点。联系国外一些著名实验室的情况,提出如何建设高水平的实验室,并进一步论述了实验室对培养科学工作者的作用。文章对实验室存在的一些问题作了讨论,提出要采取措施,充分发挥仪器设备的使用效率,要注意实验仪器设备的配套,使仪器发挥更好的作用。 展开更多
关键词 实验室 实验课 实验仪器 国外俄实验室
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层状钙钛矿结构SrBi_2Ta_2O_9铁电薄膜的微结构研究 被引量:1
10
作者 朱信华 朱滔 +4 位作者 朱健民 周舜华 李齐 刘治国 闵乃本 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第S1期255-,共1页
层状钙钛矿结构SrBi2 Ta2 O9(SBT)铁电薄膜材料由于具有无疲劳特性 ,长的极化寿命和在亚微米 ( <1 0 0nm)厚度时 ,仍然具有体材料的良好电学性能 ,因而成为非挥发性铁电存储器的首选材料。SBT属于Bi系层状钙钛矿结构的铁电材料 ,其... 层状钙钛矿结构SrBi2 Ta2 O9(SBT)铁电薄膜材料由于具有无疲劳特性 ,长的极化寿命和在亚微米 ( <1 0 0nm)厚度时 ,仍然具有体材料的良好电学性能 ,因而成为非挥发性铁电存储器的首选材料。SBT属于Bi系层状钙钛矿结构的铁电材料 ,其化学通式为 (Bi2 O2 ) 2 +(Am -1BmO3 m +1) 2 -,其中A为二价元素 ,B为五价元素 ,m为c轴方向一个晶胞内连续的钙钛结构单元个数。具有铁电性的氧八面体子晶格被非铁电性的 (Bi2 O2 ) 2 +层分隔开 ,形成一种超晶格结构。近年来人们利用多种方法 (如Sol gel,MOD ,PLD等 )制备了SBT铁电薄膜 ,并对其铁电性能及疲劳特性进行了广泛的研究。迄今为止 ,人们对SBT铁电薄膜的微结构研究还比较少 ,对SBT铁电薄膜的耐疲劳机理还不清楚。我们利用高分辨电子显微术 (HRTEM)研究了SBT铁电薄膜的晶界结构 ,分析了小角晶界处的位错组态 ,确定了位错的Burgers矢量及晶界的滑移面 ,并讨论了小角晶界及位错组态对SBT铁电薄膜漏电流密度的影响。采用传统的氧化物混合法烧结制备SrBi2 Ta2 O9陶瓷靶 ,利用脉冲激光沉积法 (PLD)在Pt( 2 0 0nm) /TiO2 ( 5 0nm) /SiO2 /Si衬底上面制备SBT铁电薄膜。衬底温度为 5 5 0℃ ,沉积时间为1 5min ,膜厚 5 0 0nm。合成后的SBT铁电薄膜在氧气氛中 85 0℃下退火 展开更多
关键词 SrBi_2Ta_2O_9薄膜 铁电薄膜 微结构 晶界
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蒙脱石热处理过程中的微结构变化及μ-堇青石相的发现 被引量:2
11
作者 吴平霄 张惠芬 +1 位作者 郭九皋 胡澄 《自然科学进展(国家重点实验室通讯)》 北大核心 2001年第1期58-64,共7页
采用现代谱学分析技术对广东和平蒙脱石及其热处理产物进行系统研究.结果表明,热处理温度达到659℃时,蒙脱石八面体片中的羟基开始脱失,对应着八面体片中AlⅥ向AlⅣ的转变.900℃时有新的矿物相μ-堇青石产生,1200℃出现方英石及莫来石相... 采用现代谱学分析技术对广东和平蒙脱石及其热处理产物进行系统研究.结果表明,热处理温度达到659℃时,蒙脱石八面体片中的羟基开始脱失,对应着八面体片中AlⅥ向AlⅣ的转变.900℃时有新的矿物相μ-堇青石产生,1200℃出现方英石及莫来石相.1350℃出现较多的含铁堇青石相. 展开更多
关键词 蒙脱石 热处理 微结构 μ-堇青石相 八面体 谱学分析 方英石相 莫来石相
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实验室是培养创新人才的摇篮--从卡文迪什实验室看实验室的作用 被引量:85
12
作者 冯端 《实验室研究与探索》 CAS 2008年第10期1-3,5,共4页
介绍了英国剑桥大学卡文迪什实验室的发展历程,特别是该实验室的历届实验室主任的创新思想,大胆改革实验室的主要研究方向,并取得了一系列推动科学发展的辉煌成就,与此同时,从第一任实验室主任麦克斯韦到瑞利勋爵、J.J.汤姆森、卢瑟福、... 介绍了英国剑桥大学卡文迪什实验室的发展历程,特别是该实验室的历届实验室主任的创新思想,大胆改革实验室的主要研究方向,并取得了一系列推动科学发展的辉煌成就,与此同时,从第一任实验室主任麦克斯韦到瑞利勋爵、J.J.汤姆森、卢瑟福、W.L.布格、莫特等,培养了一代一代的著名科学家。实验室是培养创新人才的摇篮,是现代大学的心脏。 展开更多
关键词 实验室 创新 卡文迪什实验室 创新人才
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Zn_xFe_(3-x)O_4-α-Fe_2O_3纳米多晶材料中的隧道磁电阻效应与微结构(英文) 被引量:1
13
作者 朱健民 朱信华 +5 位作者 杨科 刘治国 都有为 邢定钰 李齐 冯端 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2002年第3期279-282,共4页
在具有纳米绝缘层的多晶锌铁氧体体系中 ,当晶界为α Fe2 O3纳米量级的绝缘层时 ,则构成 (ZnxFe3 xO4) α Fe2 O3非均匀体 ,电子显微分析证实了这种微结构。该体系在 0 5T磁场、4 2K温度下 ,磁电阻效应可达 1 2 80 %,30 0K下为 1 58%
关键词 ZnxFe3-xO4-α-Fe2O3 纳米多晶材料 隧道磁电阻效应 锌铁酸盐 透射电子显微镜
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铁电纳米结构的浸渍涂敷法制备和微结构STEM表征(英文) 被引量:1
14
作者 朱信华 朱健民 +1 位作者 周舜华 刘治国 《电子显微学报》 CAS CSCD 2008年第4期293-299,共7页
本文利用浸渍涂敷法在硅基多孔氧化铝模版介质(孔径20 nm^100 nm)上制备了Pb(Zr0.53Ti0.47)O3(PZT)铁电纳米结构,并利用扫描透射电子显微镜(STEM)观察了其表面形貌和剖面微结构。TEM像和X-射线能谱分析结果表明在多孔氧化铝模版孔道内... 本文利用浸渍涂敷法在硅基多孔氧化铝模版介质(孔径20 nm^100 nm)上制备了Pb(Zr0.53Ti0.47)O3(PZT)铁电纳米结构,并利用扫描透射电子显微镜(STEM)观察了其表面形貌和剖面微结构。TEM像和X-射线能谱分析结果表明在多孔氧化铝模版孔道内形成了PZT纳米结构,其横向尺寸可通过改变氧化铝模版的孔径来调节。采用浸渍涂敷法可使PZT溶液贯穿整个氧化铝纳米孔道,在其内壁形成PZT涂层,厚度为4 nm^15 nm。氧化铝纳米孔道内的黑色TEM衬度线证实了PZT涂层的存在,其存在方式为连续介质型或离散的晶粒形状。平面STEM像显示PZT纳米结构具有椭球状形貌,这可能是由氧化铝纳米孔道的局部扭曲或PZT溶液在退火过程中的收缩引起的。在硅基多孔氧化铝模版介质上采用浸渍涂敷法制备的PZT有序纳米结构,在将来三维结构的非挥发性铁电存储器方面具有十分诱人的应用前景。 展开更多
关键词 铁电纳米结构 PZT 浸渍涂敷 STEM
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完善管理机制,促进实验室开放、流动、联合 被引量:2
15
作者 徐宁 刘金生 《实验技术与管理》 CAS 1996年第1期6-8,共3页
南京大学固体微结构物理实验室是1984年国家计委投资建立的首批国家重点实验室之一。作为国家重点实验室,得到了国家的重点投资,引进了一批先进的现代化仪器和设备。但要取得一流的科研成果,还需要进行科学的组织和管理。
关键词 实验室 物理实验室 管理
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薄膜微结构分析的几种X射线散射技术 被引量:4
16
作者 吴小山 《南通大学学报(自然科学版)》 CAS 2008年第3期1-14,共14页
文章厄要介绍了X射线小角反射、X射线漫散射技术、X射线表面衍射和多晶薄膜的小角衍射实验原理和实验技术,特别针对各种实验技术中实验数据的采集要求做了细致描述;通过对自旋阀、异质结构中的应变、薄膜深度轮廓及应变规律等的研究,说... 文章厄要介绍了X射线小角反射、X射线漫散射技术、X射线表面衍射和多晶薄膜的小角衍射实验原理和实验技术,特别针对各种实验技术中实验数据的采集要求做了细致描述;通过对自旋阀、异质结构中的应变、薄膜深度轮廓及应变规律等的研究,说明这些散射技术在薄膜研究中的应用. 展开更多
关键词 薄膜 微结构 X射线 散射
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纳米结构铁电膜的制备和物性及微结构表征
17
作者 朱信华 宋晔 +3 位作者 杭启明 朱健民 周顺华 刘治国 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第9期966-970,共5页
采用脉冲激光淀积法在硅基氧化铝纳米有序孔膜版介质上(膜版孔径平均尺寸25nm,内生长Pt纳米线作为底电极一部分)制备了纳米结构的BaTiO3铁电膜(膜厚25nm),并对其铁电和介电性能以及微结构进行了表征.结果表明,BaTiO3铁电纳米膜的介电常... 采用脉冲激光淀积法在硅基氧化铝纳米有序孔膜版介质上(膜版孔径平均尺寸25nm,内生长Pt纳米线作为底电极一部分)制备了纳米结构的BaTiO3铁电膜(膜厚25nm),并对其铁电和介电性能以及微结构进行了表征.结果表明,BaTiO3铁电纳米膜的介电常数随着测量频率的增加(103~106Hz)从196缓慢下降到190;介电损耗在低频区域(103~105Hz)从0.005缓慢增加到0.007,而在高频率区域(>105Hz)快速增加到0.013.薄膜的剩余极化强度约为5μC/cm2,矫顽场强约为680kV/cm.剖面(S)TEM像表明,BaTiO3铁电纳米膜与Pt纳米线(底电极)直接相连,它们之间的界面具有一定程度的弯曲.为兼顾氧化铝纳米有序孔膜版内的金属纳米线有序分布及BaTiO3纳米膜的结晶度,选择合适的退火温度是制备工艺中的关键因素. 展开更多
关键词 BATIO3 纳米结构铁电膜 介电和铁电性能 微结构
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SBT材料微结构的TEM研究(英文)
18
作者 朱信华 朱健民 +3 位作者 周舜华 李齐 刘治国 闵乃本 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2002年第3期287-293,共7页
本文利用透射电子显微术 (TEM)对SrBi2 Ta2 O9(SBT)材料 (单晶、陶瓷及薄膜 )的微结构进行了研究。在 (0 0 1 )取向的SBT单晶材料及多晶陶瓷中观察到 90°铁电畴结构。在SBT晶体中观察到大量的条带状四度反相畴界结构和少量的三度... 本文利用透射电子显微术 (TEM)对SrBi2 Ta2 O9(SBT)材料 (单晶、陶瓷及薄膜 )的微结构进行了研究。在 (0 0 1 )取向的SBT单晶材料及多晶陶瓷中观察到 90°铁电畴结构。在SBT晶体中观察到大量的条带状四度反相畴界结构和少量的三度反相畴界结构 ,利用TaO6 氧八面体的扭转和四态自旋结构模型 ,对反相畴界结构的实验观测结果进行了解释。在 (0 0 1 )取向的SBT铁电薄膜中 ,观察到小角晶界 (倾角为 8 2°)的位错分解现象 ,导致不全位错和层错的出现。利用平衡状态下两个不全位错之间的排斥力等于层错的吸引力 ,估算了小角晶界处的层错能量 ,大小为 0 2 7~ 0 2 9J m2 。小角晶界位错的分解对 (0 0 1 ) 展开更多
关键词 SBT材料 SrBi2Ta2O9材料 微结构 TEM 铁电薄膜 透射电子显微术 铁电畴结构 钽酸盐
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钽酸锶铋陶瓷靶的烧结及其薄膜微结构分析
19
作者 周宁生 李明 +2 位作者 金灯仁 陆怀先 杨平雄 《南京大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 1997年第2期205-209,共5页
高致密、结晶好的钽酸锶铋陶瓷靶由SrCO3、Bi2O3和Ta2O5粉末混合、预烧、压模和烧结而成,预烧和烧结温度范围分别为900~1000℃和1000~1400℃。用脉冲准分子激光沉积技术制备得到非晶钽酸锶铋薄膜,在... 高致密、结晶好的钽酸锶铋陶瓷靶由SrCO3、Bi2O3和Ta2O5粉末混合、预烧、压模和烧结而成,预烧和烧结温度范围分别为900~1000℃和1000~1400℃。用脉冲准分子激光沉积技术制备得到非晶钽酸锶铋薄膜,在氧气氛下经退火得到多晶钽酸锶铋薄膜。XRD分析得到钽酸锶铋薄膜择优取向以(008)和(115)为主;TEM分析得到钽酸锶铋薄膜晶界清晰、结构致密,平均晶粒大小约为20nm,薄膜的界面清晰、陡峭,厚度约为200nm。 展开更多
关键词 钽酸锶铋 激光沉积 微结构 铁电薄膜 薄膜 烧结
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利用波纹图样对GaN/α-Al_2O_3(0001)界面微结构研究
20
作者 朱健民 陈志忠 +4 位作者 马国斌 朱信华 周舜华 李齐 冯端 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第S1期254-,共1页
以GaN为代表的Ⅲ V族氮化物是制备蓝、绿光发光二极管、激光二极管及高温大功率器件的优选材料。然而 ,现有的衬底材料与GaN外延层之间存在的较大的晶格失配和热失配 ,因而造成外延层极高的位错密度 ( 1 0 8~ 1 0 10 cm-2 )。人们对G... 以GaN为代表的Ⅲ V族氮化物是制备蓝、绿光发光二极管、激光二极管及高温大功率器件的优选材料。然而 ,现有的衬底材料与GaN外延层之间存在的较大的晶格失配和热失配 ,因而造成外延层极高的位错密度 ( 1 0 8~ 1 0 10 cm-2 )。人们对GaN/α Al2 O3 界面处的微结构及其与生长机制关系的研究表现出极大的兴趣。我们借助于高分辨电镜技术 (HREM) ,利用HREM波纹图样及结构像 ,对LRH MOCVD方法生长的GaN/α Al2 O3 界面微结构进行研究 ,得到了一些有价值的结果。将GaN/α Al2 O3 ( 0 0 0 1 )样品绕〈1 1 2 0〉Al2 O3 转动一小角度 ,进行高分辨电镜 (HREM)观察 ,发现在界面缓冲层的HREM像中存在许多“拉链”状波纹图样 ,它们的周期约为 1 .6nm ,波纹区宽度从 1nm到 2 5nm变化 ,根据这些波纹可测得界面层GaN的晶格弛豫度δ =- 1 5 .1 % ,其残余应变为εr=- 0 .4%。而这种“拉链”状的波纹图样实际上反映了界面缓冲层是由许多不同倾角和残余应变的GaN晶粒组成 ,这些晶粒一部分是低温外延生长而成 ,一部分是在低温生长时的非晶态经高温退火晶化而得。但高温退火所得晶粒不是外延生长 ,其晶化质量较差 ,它们对应于较大角度偏离、弯曲和衬度较为模糊的波纹图样。HREM像分析表明 。 展开更多
关键词 GaN/α-Al_2O_3 衬底材料 界面结构
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